综述

仪器由4部分组成，计数检漏仪为主体，配合使用手动扫描探头、气溶胶发生器、100倍稀释器。

符合ISO 14644-3 B.6.3规范。

操作简单，连接手持探头，通过“启动/停止”键，进行测试。

先测上游浓度，输入已知过滤效率，仪器计算出漏点值，再测下游，与计算值比较，如漏点值超标，蜂鸣器报警。

探头部分液晶屏，方便实时观察测试粒子数和相关粒径范围。

主机部分触摸屏，并可进行相关操作。

计数检漏仪，与光度计相比，能够检测更低浓度。

手动探头与主机配有3米连接线，方便远程操作。

多功能，可适于其他用途。

应用

用于HEPA/ULPA过滤器的扫描检漏。

用于测试过滤器的过滤效率。

适用于洁净室高效风口过滤器的在线检测。

技术参数

气溶胶粒子：DEHS

粒径：0.3~0.5μm ，占总数比 > 70%

气溶胶喷雾浓度：1×10¹²P/L，≥0.3um~0.5μm

计数粒径分档：0.3、0.5、1、3、5、10μm，共6档

检漏粒径：≥0.3μm，其它可设定

计数检漏仪采样量：28.3L/min，±5%

重复性相对误差：≤10%

粒径分布误差：≤30%

自净时间：≤10 min