கிடைக்கும்: | |
---|---|
அளவு: | |
எஸ்சி -7099
சின்ஸ்
சுயவிவரம்
F6-F9 , H10-H14 வகுப்புகள் வடிகட்டி சோதனைக்கு.
டிஷ் ஏரோசோலுடன் வடிகட்டுதல் செயல்திறன் சோதனைக்கு அடிப்படை பதிப்பு பயன்படுத்தப்படுகிறது.
கூடுதல் தொகுதி எஸ்சி -189 தூசி ஊட்டி மூலம், தூசி வைத்திருக்கும் திறனை சோதிக்க முடியும்.
எஸ்சி -189 பொருத்தப்பட்ட, பின்வரும் குறியீடுகளையும் சோதிக்கலாம்: தூசி வைத்திருக்கும் திறன், கைது, அழுத்தம் துளி மற்றும் தூசி சுமை, கைது மற்றும் தூசி சுமை போன்றவை, போன்றவை.
படி
ஐஎஸ்ஓ 16890, என் 779, ஆஷ்ரே 52.2, முதலியன.
சோதனை குறியீடுகள்
காற்று தொகுதி எதிராக எதிர்ப்பு (அழுத்தம் துளி) வளைவு.
பகுதியளவு செயல்திறன்.
ஈபிஎம் 1.0, ஈபிஎம் 2.5, முதலியன.
தூசி வைத்திருக்கும் திறன்.
கைது (கிராமிட்ரிக் செயல்திறன்) மற்றும் தூசி சுமை.
எதிர்ப்பு Vs தூசி சுமை Efficiency@0.4um vs தூசி சுமை.
பகுதியளவு செயல்திறன் மற்றும் வெவ்வேறு இறுதி எதிர்ப்பு.
நன்மைகள்
நீட்டிக்கப்பட்ட சோதனை வடிகட்டுதல் செயல்திறன் வரம்பு, வகுப்பு F6 முதல் F9 மற்றும் H10 முதல் H14 வரை, இயந்திரங்களில் சிறிய முதலீடுகள்.
அதிக வசதிக்காக தானியங்கி ஏரோசல் செறிவு ஒழுங்குமுறை.
மேலும் ஆட்டோ-வடிவமைப்பு, எ.கா. எதிர் மாறுதல், நுகர்பொருட்கள் நினைவூட்டல்களை மாற்றுகின்றன, சுருக்கப்பட்ட ஏர் பிரஷரேலெர்ட்ஸ் போன்றவை.
பராமரிப்பு மற்றும் பயன்பாட்டின் குறைந்த செலவு, அதிக நிலைத்தன்மை, குறிப்பாக தொழிற்சாலைகளில் நீண்டகால சோதனை பயன்பாட்டிற்கு.
தட்டு வடிப்பான்கள், வி-டேங்க் வடிப்பான்கள், பை மற்றும் சிலிண்டர் வடிப்பான்கள் அனைத்தும் சோதனைக்கு மூடப்பட்டுள்ளன
இணைக்க எளிதானது. இணைக்க 10 திருகுகள் மட்டுமே மற்றும் கம்பிகள் இண்டம்மி-ப்ரூஃப் செருகப்படுகின்றன.
நல்ல நிலைத்தன்மை மற்றும் அதிக நம்பகத்தன்மை. எதிர் மற்றும் கணினி சுய சுத்தம், தூசி உருவாக்கும் நிலைத்தன்மை மற்றும் செறிவு சீரான தன்மை போன்ற 10 க்கும் மேற்பட்ட சோதனைகள் நடத்தப்பட வேண்டும்.
மென்பொருள் மற்றும் முடிவுகள்
தெளிவான இடைமுகத்துடன் சுயாதீனமாக உருவாக்கப்பட்ட மென்பொருள் அமைப்பு.
தயாரிப்பு தகவல்கள், செயல்பாட்டுத் தேர்வு, சோதனை முடிவுகள் போன்றவை நிலையான பகுதியில் காட்டப்படும்.
A4 அறிக்கைகள் ஆர்டெசிவ் லேபிள்களில் சோதனை முடிவுகளை அச்சிடுவதற்கான 2 வழிகள்.
தொழில்நுட்ப தரவு
ஓட்ட விகிதம்: மாதிரி 1: 150 ~ 1500 மீ 3/மணி
மாதிரி 2: 500 ~ 3500 மீ 3/மணி
மாதிரி 3: 500 ~ 4500 மீ 3/மணி
வேறுபட்ட அழுத்தம்: வரம்பு -0 ~ 500, paaccuracy- 士 1%f · s
சோதனை ஏரோசோல்: டெஹெச்எஸ், கே.சி.ஐ.
ஏற்றுதல் தூசி: ஐஎஸ்ஓ 12103 ஏ 2, ஐஎஸ்ஓ 12103 ஏ 4, ஆஷ்ரே 52.2 தூசி
துகள் கவுண்டர்: 6 சேனல்கள், 0.3,0.5,1.0,3.0,5.0,10.0
வடிகட்டி செயல்திறன் வரம்பு: 45%-99.995%@0.3μm
நீர்த்த விகிதம்: 80 ~ 100
சுருக்கப்பட்ட AirSupply: 5 ~ 8 கிலோ/செ.மீ.2
மின்சாரம்: ஏசி 380 வி, 50 ஹெர்ட்ஸ்
பரிமாணங்கள்: 3350x1800x1900 மிமீ (எம் 1)
4500x1900x1900 மிமீ (எம் 2)
4500x2000x1900 மிமீ (எம் 3)
சுயவிவரம்
F6-F9 , H10-H14 வகுப்புகள் வடிகட்டி சோதனைக்கு.
டிஷ் ஏரோசோலுடன் வடிகட்டுதல் செயல்திறன் சோதனைக்கு அடிப்படை பதிப்பு பயன்படுத்தப்படுகிறது.
கூடுதல் தொகுதி எஸ்சி -189 தூசி ஊட்டி மூலம், தூசி வைத்திருக்கும் திறனை சோதிக்க முடியும்.
எஸ்சி -189 பொருத்தப்பட்ட, பின்வரும் குறியீடுகளையும் சோதிக்கலாம்: தூசி வைத்திருக்கும் திறன், கைது, அழுத்தம் துளி மற்றும் தூசி சுமை, கைது மற்றும் தூசி சுமை போன்றவை, போன்றவை.
படி
ஐஎஸ்ஓ 16890, என் 779, ஆஷ்ரே 52.2, முதலியன.
சோதனை குறியீடுகள்
காற்று தொகுதி எதிராக எதிர்ப்பு (அழுத்தம் துளி) வளைவு.
பகுதியளவு செயல்திறன்.
ஈபிஎம் 1.0, ஈபிஎம் 2.5, முதலியன.
தூசி வைத்திருக்கும் திறன்.
கைது (கிராமிட்ரிக் செயல்திறன்) மற்றும் தூசி சுமை.
எதிர்ப்பு Vs தூசி சுமை Efficiency@0.4um vs தூசி சுமை.
பகுதியளவு செயல்திறன் மற்றும் வெவ்வேறு இறுதி எதிர்ப்பு.
நன்மைகள்
நீட்டிக்கப்பட்ட சோதனை வடிகட்டுதல் செயல்திறன் வரம்பு, வகுப்பு F6 முதல் F9 மற்றும் H10 முதல் H14 வரை, இயந்திரங்களில் சிறிய முதலீடுகள்.
அதிக வசதிக்காக தானியங்கி ஏரோசல் செறிவு ஒழுங்குமுறை.
மேலும் ஆட்டோ-வடிவமைப்பு, எ.கா. எதிர் மாறுதல், நுகர்பொருட்கள் நினைவூட்டல்களை மாற்றுகின்றன, சுருக்கப்பட்ட ஏர் பிரஷரேலெர்ட்ஸ் போன்றவை.
பராமரிப்பு மற்றும் பயன்பாட்டின் குறைந்த செலவு, அதிக நிலைத்தன்மை, குறிப்பாக தொழிற்சாலைகளில் நீண்டகால சோதனை பயன்பாட்டிற்கு.
தட்டு வடிப்பான்கள், வி-டேங்க் வடிப்பான்கள், பை மற்றும் சிலிண்டர் வடிப்பான்கள் அனைத்தும் சோதனைக்கு மூடப்பட்டுள்ளன
இணைக்க எளிதானது. இணைக்க 10 திருகுகள் மட்டுமே மற்றும் கம்பிகள் இண்டம்மி-ப்ரூஃப் செருகப்படுகின்றன.
நல்ல நிலைத்தன்மை மற்றும் அதிக நம்பகத்தன்மை. எதிர் மற்றும் கணினி சுய சுத்தம், தூசி உருவாக்கும் நிலைத்தன்மை மற்றும் செறிவு சீரான தன்மை போன்ற 10 க்கும் மேற்பட்ட சோதனைகள் நடத்தப்பட வேண்டும்.
மென்பொருள் மற்றும் முடிவுகள்
தெளிவான இடைமுகத்துடன் சுயாதீனமாக உருவாக்கப்பட்ட மென்பொருள் அமைப்பு.
தயாரிப்பு தகவல்கள், செயல்பாட்டுத் தேர்வு, சோதனை முடிவுகள் போன்றவை நிலையான பகுதியில் காட்டப்படும்.
A4 அறிக்கைகள் ஆர்டெசிவ் லேபிள்களில் சோதனை முடிவுகளை அச்சிடுவதற்கான 2 வழிகள்.
தொழில்நுட்ப தரவு
ஓட்ட விகிதம்: மாதிரி 1: 150 ~ 1500 மீ 3/மணி
மாதிரி 2: 500 ~ 3500 மீ 3/மணி
மாதிரி 3: 500 ~ 4500 மீ 3/மணி
வேறுபட்ட அழுத்தம்: வரம்பு -0 ~ 500, paaccuracy- 士 1%f · s
சோதனை ஏரோசோல்: டெஹெச்எஸ், கே.சி.ஐ.
ஏற்றுதல் தூசி: ஐஎஸ்ஓ 12103 ஏ 2, ஐஎஸ்ஓ 12103 ஏ 4, ஆஷ்ரே 52.2 தூசி
துகள் கவுண்டர்: 6 சேனல்கள், 0.3,0.5,1.0,3.0,5.0,10.0
வடிகட்டி செயல்திறன் வரம்பு: 45%-99.995%@0.3μm
நீர்த்த விகிதம்: 80 ~ 100
சுருக்கப்பட்ட AirSupply: 5 ~ 8 கிலோ/செ.மீ.2
மின்சாரம்: ஏசி 380 வி, 50 ஹெர்ட்ஸ்
பரிமாணங்கள்: 3350x1800x1900 மிமீ (எம் 1)
4500x1900x1900 மிமீ (எம் 2)
4500x2000x1900 மிமீ (எம் 3)