Items testen: luchtsnelheid en luchtvolume, luchtuitwisseling, temperatuur en vochtigheid, differentiële druk, gesuspendeerde deeltjes, planktonische bacteriën, gevestigde bacteriën, lawaai, verlichting enzovoort. In het bijzonder kunt u verwijzen naar de testnormen van de schone kamer.
De windsnelheid en het luchtvolume en het aantal luchtveranderingen
Schone kamer, een schone oppervlakte van de netheid is voornamelijk door een voldoende hoeveelheid schone lucht in te sturen, om de indoorproductie van deeltjesvormige verontreinigingen te vervangen om te bereiken. Daartoe is de bepaling van de cleanroom of schone voorzieningen luchttoevoer, gemiddelde luchtsnelheid, luchttoevoeruniformiteit, luchtstroomrichting en stroomtype en andere items zeer noodzakelijk.
De unidirectionele stroming is voornamelijk afhankelijk van de extrusie van schone luchtstroom, vervanging van binnen, gebied van vervuilde lucht om binnen te behouden, gebied van netheid. Daarom is de windsnelheid en uniformiteit van de luchttoevoer sectie een belangrijke parameter die de netheid beïnvloedt. Hogere, meer uniforme dwarsdoorsnede windsnelheid kan sneller zijn, een effectievere uitsluiting van verontreinigende stoffen die worden gegenereerd door binnenprocessen, dus ze zijn de grootste zorg van het testprogramma.
Niet-unidirectionele stroming is voornamelijk afhankelijk van inkomende schone lucht om de verontreinigende stoffen in de kamer en het gebied te verdunnen en te verdunnen om zijn netheid te behouden. Daarom, hoe groter het aantal luchtuitwisselingen, het luchtstroompatroon is redelijk, hoe groter het significant verdunningseffect, de netheid wordt ook dienovereenkomstig verbeterd. Daarom zijn het volume van de luchttoevoer en het overeenkomstige aantal luchtveranderingen in niet-single-fase flow clean kamers en schone zones de belangrijkste zorg van het luchtstroomtestprogramma.
Om herhaalbare metingen te verkrijgen, registreert u het tijdgemiddelde van de luchtsnelheid op elk meetpunt.
Het aantal luchtveranderingen: volgens het totale luchtvolume van de schone kamer gedeeld door het volume van de schone kamer om te verkrijgen
T keizer en vochtigheid
Schone kamer of schone faciliteiten temperatuur, vochtmeting, meestal verdeeld in twee graden: algemene testen en uitgebreide testen. Het eerste leerjaar is van toepassing op de lege status van de voltooiing van de acceptatietest, het tweede leerjaar is van toepassing op de statische of dynamische uitgebreide prestatietest. Dit type test is van toepassing op de vereisten voor temperatuur- en vochtprestaties zijn strengere gelegenheden.
Deze test wordt uitgevoerd na de luchtstroomuniformiteitstest en na de aanpassing van het airconditioningsysteem. Wanneer deze test wordt uitgevoerd, is het airconditioningsysteem volledig bediend en zijn de voorwaarden gestabiliseerd. Ten minste één vochtigheidssensor is opgezet in elk vochtcontrolegebied en de sensoren krijgen voldoende tijd om te stabiliseren. Metingen moeten geschikt zijn voor het doel waarvoor ze moeten worden gebruikt, en mogen pas worden genomen nadat de sensoren zijn gestabiliseerd, en gedurende een periode van niet minder dan 5 minuten.
Het doel van deze test is om het vermogen van de voltooide faciliteit te verifiëren om een gespecificeerd drukverschil te handhaven tussen de voltooide faciliteit en de omgeving en tussen ruimtes in de faciliteit. Deze test is van toepassing op alle 3 bezettingsstaten. Periodieke prestaties van deze test zijn vereist.
Differentiële druktest moet in alle deuren zijn gesloten onder de staat, van hoge druk tot lage druk, van de vliegtuigindeling en de verst van de buitenwereld in de kamer om te beginnen, op zijn beurt naar de buitenkant van de test; Er zijn gaten verbonden met verschillende niveaus van aangrenzende schone kamer (gebied), het gat moet een redelijke luchtstroomstroom zijn, enzovoort.
D e differentiële druktestvereisten
1) De bepaling van statische differentiële drukvereisten in het schone gebied van alle deuren is gesloten.
2) In het schone vlak moet worden uitgevoerd in volgorde van hoge tot lage netheid, is direct buiten in de kamer gedetecteerd.
3) Meting van de mond van de buis bevindt zich in de kamer zonder de invloed van de luchtstroom overal, de meting van de mond van het buisoppervlak evenwijdig aan de luchtstroomlijn.
4) De gemeten en geregistreerde gegevens moeten nauwkeurig zijn tot 1,0 pa.
Differentiële drukdetectiestappen:
1) Sluit eerst alle deuren.
2) Meet de differentiële druk tussen schone kamers, tussen de gangen van schone kamer en tussen gangen en de buitenwereld met een differentiële drukmeter.
3) Noteer alle gegevens.
Standaardvereisten voor differentiële druk
Volgens het cleanroom -ontwerp- of procesvereisten om het onderhoud van de gemeten cleanroom -positieve of negatieve drukwaarde te bepalen.
1) Verschillende niveaus van een schone kamer of schone ruimte en niet-spleetruimte (oppervlakte) tussen het statische drukverschil mogen niet minder zijn dan 5Pa.
2) Schone kamer (gebied) en buitenstatische drukverschil mogen niet minder zijn dan 10 pa.
3) Voor het luchtinreinheidsniveau is minder dan 5 (100) van de unidirectionele stroom van de schone kamer in de deur, de deur 0,6 m van de indoor werkoppervlakstofconcentratie moet niet groter zijn dan het overeenkomstige niveau van de stofconcentratielimieten.
4) Als de vereisten van de bovenstaande normen niet kunnen worden bereikt, moeten deze opnieuw worden aangepast aan het nieuwe luchtvolume, het uitlaatluchtvolume, totdat ze gekwalificeerd zijn.
Gesuspendeerde deeltjes
A, indoor testpersoneel moet schone kleding dragen, niet meer dan 2 personen, moeten zich in het testpunt naar beneden en weg van het testpunt bevinden en moet stilstaan. De actie moet licht zijn bij het wijzigen van het werkingspunt en moet de interferentie van het personeel op de netheid van de kamer verminderen.
B. De apparatuur moet binnen de kalibratieperiode worden gebruikt.
C. De apparatuur moet 'nul ' zijn voor en na de test.
D. In het unidirectionele stromingsgebied moet de geselecteerde bemonsteringsonde dicht bij de isokinetische bemonstering zijn, de windsnelheid in de bemonsteringssonde en de bemonsterde luchtsnelheidafwijking mag niet hoger zijn dan 20%. Als dit niet mogelijk is, wordt de bemonsteringspoort geconfronteerd met de hoofdrichting van de luchtstroom. Voor bemonsteringspunten met niet-unidirectionele stroming moet de bemonsteringspoort verticaal omhoog zijn.
E. De verbindingspijp van de bemonsteringspoort naar de deeltjescountersensor moet zo kort mogelijk zijn.
Het bemonsteringspunt ligt in het algemeen ongeveer 0,8-1,2 m van de grond en moet wetenschappelijk gelijkmatig worden verdeeld en de retourluchtuitgang moeten vermijden. Voor elke kleine schone kamer of lokaal luchtzuiveringsgebied mag het aantal bemonsteringspunten niet minder zijn dan 2, het totale aantal monsters kan gebaseerd zijn op het gebied van de opening van de wortel van de tweede keer om te vinden. Het minimum aantal bemonsteringspunten komt overeen met het aantal bemonsteringspunten van de gesuspendeerde deeltjes, het werkgebiedmeetpuntlocatie van de grond van 0,8-1,2 m of zo, de locatie van de luchttoevoeruitgangspunt weg van het luchttoevoeroppervlak van 30 cm of zo, de belangrijkste apparatuur of belangrijke werkactiviteiten bij de reikwijdte van de toename van het meetpunt, elk steekproef is in het algemeen een sampleringspunt een. Nadat alle bemonstering is voltooid, moet de incubator worden geplaatst in een schone kamer of een lokale luchtzuivering.
Na het einde van alle bemonstering wordt het petrischaal in een constante temperatuurincubatorcultuur geplaatst, de tijd is niet minder dan 48 uur, elke partij kweekmedium moet een controle -experiment hebben om te testen of het kweekmedium vervuild is.
Sedimentatiebacterie
Werkgebied Meetpunt Locatie van de grond van de grond 0,8-1,2 miljoen of zo, zijn voorbereide petrischerechten in het bemonsteringspunt, open de petrischalen, zodat deze wordt blootgesteld aan de gespecificeerde tijd, en vervolgens de petrischaal bedekken, zal de petri-schotel worden geplaatst in een constante temperatuurincubatorcultuur, de tijd is niet minder dan 48 uur, elke beurt van het medium, het testen van het medium is niet testen.
Lawaai
Meethoogte van ongeveer 1,2 meter van de grond, het schone ruimte van 15 vierkante meter of minder, u kunt alleen het midden van de kamer meten 1 punt; Oppervlakte van 15 vierkante meter of meer, moet ook diagonaal 4 punten worden gemeten, 1 meter van de zijwanden, het meet van punten naar de hoeken.
Ik lluminatie
Meten van puntvlak ongeveer 0,8 meter van de grond, volgens de 2-meter afstandspunten, 30 vierkante meter van de kamer binnen het meetpunt vanaf de zijwand 0,5 meter, meer dan 30 vierkante meter van het kamermeetpunt van de wand 1 meter.
