クリーンルームでテストする必要がある7つの基本的なアイテム

テスト項目：空気速度と空気量、空気交換、温度と湿度、差動圧力、疑わしい粒子、浮遊細菌、沈殿した細菌、騒音、照明など。具体的には、クリーンルームのテスト基準を参照できます。

風速と空気量と空気の変化の数

清潔な部屋、清潔さのきれいな領域は、主に十分な量のきれいな空気を送り、交換するために、達成する粒子状汚染物質の屋内生産を希釈することです。この目的のために、クリーンルームまたはクリーンな施設の空気供給、平均空気速度、空気供給の均一性、気流の方向、流れの種類の決定が非常に必要です。

一方向の流れは、主にきれいな気流の押し出し、屋内、汚染された空気の領域の交換に依存して、屋内、清潔さの領域を維持します。したがって、その空気供給セクションの風速と均一性は、清潔さに影響を与える重要なパラメーターです。より高く、より均一な断面風速は、屋内プロセスによって生成された汚染物質のより速く、より効果的な除外を行うことができるため、テストプログラムの主な関心事です。

非方向性の流れは、主に入ってくるきれいな空気に依存して、部屋とエリアの汚染物質を希釈して希釈して、その清潔さを維持します。したがって、空気交換の数が多いほど、気流パターンは合理的になり、それに応じて清潔さも改善されます。したがって、空気供給の量と、非シングルフェーズフロークリーンルームとクリーンゾーンの対応する空気の変化は、気流テストプログラムの主な関心事です。

繰り返し可能な測定値を取得するには、各測定点での空気速度の時間平均を記録します。

空気の変化の数：クリーンルームの総空気量に従って、クリーンルームの量で割って取得する

t皇帝と湿度

クリーンルームまたはクリーンな施設の温度、湿度測定、通常、一般的なテストと包括的なテストの2つのグレードに分かれています。 1年生は、受け入れテストの完了の空の状態に適用され、2年生は静的または動的な包括的なパフォーマンステストに適用されます。このタイプのテストは温度に適用され、湿度のパフォーマンス要件はより厳格な場合があります。

このテストは、気流の均一性テストの後、および空調システムの調整後に行われます。このテストが実行されると、エアコンシステムが完全に操作され、条件が安定しています。少なくとも1つの湿度センサーが各湿度制御エリアに設置され、センサーには安定するのに十分な時間が与えられます。測定は、それらを使用する目的に適している必要があり、センサーが安定した後にのみ、5分以上の間に摂取する必要があります。

このテストの目的は、完成した施設が、完成した施設とその周辺と施設内のスペース間で指定された圧力差を維持する能力を検証することです。このテストは、3つの占有状態すべてに適用されます。このテストの定期的なパフォーマンスが必要です。

差動圧力試験は、高圧から低圧へ、平面レイアウトから、部屋の外の世界から最も遠い、テストの外側まで、すべてのドアに閉じられている必要があります。隣接するクリーンルーム（エリア）のさまざまなレベルに接続された穴があり、穴は合理的な気流の流れなどでなければなりません。

要件差動圧力テスト

 1）すべてのドアのきれいな領域における静的な微分圧力要件の決定は閉じられています。

 2）きれいな平面では、清潔から低い状態から低い清潔から低い部屋に順番に実行される必要があります。

 3）チューブの口の測定は、エアフローの影響を受けずに部屋にあり、チューブ表面の口の測定は気流ラインに平行です。

 4）測定されたデータと記録されたデータは、1.0Paまで正確でなければなりません。

差圧検出手順：

 1）最初にすべてのドアを閉じます。

 2）クリーンルーム間、クリーンルームの廊下間、廊下と外の世界間の差の差を測定して、差圧メーターを備えています。

 3）すべてのデータを記録します。

差圧標準要件

  クリーンルームの設計またはプロセスの要件に応じて、測定されたクリーンルームの正または負の圧力値のメンテナンスを決定します。

  1）静的な圧力差の間のさまざまなレベルのクリーンルームまたはクリーンエリアと非クリーンルーム（エリア）は5pa以下であってはなりません。

  2）クリーンルーム（エリア）と屋外の静的圧力差は10Pa以下であってはなりません。

  3）空気の清潔さレベルの場合、ドアのクリーンルームの一方向の流れの5（100）未満であるため、屋内作業表面粉塵濃度のドア0.6mは、粉塵濃度の濃度の対応するレベルよりも大きくはありません。

  4）上記の標準の要件を達成できない場合は、資格があるまで新しい空気量である排気量に再調整する必要があります。

懸濁した粒子

A、屋内テスト担当者は、2人以下の清潔な服を着用する必要があり、テストポイントの下側にあり、テストポイントから離れて、静止したままでなければなりません。操作点を変更するときは、アクションは軽量である必要があり、部屋の清潔さに対する人員の干渉を減らす必要があります。

B.キャリブレーション期間内に機器を使用する必要があります。

C.テストの前後に、機器は 'ゼロ'でなければなりません。

D.単方向の流れ領域では、選択されたサンプリングプローブは等速度のサンプリングに近い必要があります。これが不可能な場合、サンプリングポートはエアフローの主要な方向に向いています。非方向性の流れを備えたサンプリングポイントの場合、サンプリングポートは垂直に上方にする必要があります。

E.サンプリングポートから粒子カウンターセンサーへの接続パイプは、できるだけ短くする必要があります。

サンプリングポイントは一般に地面から約0.8〜1.2mであり、科学的に均等に分布し、戻りエアコンセントを避ける必要があります。小さなクリーンルームまたは地元の空気浄化エリアの場合、サンプリングポイントの数は2未満であってはなりません。サンプルの総数は、2回目のルートの開口部の面積に基づいています。サンプリングポイントの最小数は、懸濁粒子サンプリングポイントの数に対応し、ワーキングエリア測定ポイントの位置は0.8〜1.2m程度の地面から、30cm程度の空気供給測定ポイントの位置から、測定点の増加の範囲での主要な機器または主要な作業活動に対応します。すべてのサンプリングが完了したら、インキュベーターはクリーンルームまたは地元の空気浄化エリアに配置する必要があります。

すべてのサンプリングが終了した後、ペトリ皿は一定の温度インキュベーター培養に配置され、時間は48時間以上です。培地の各バッチは、培地が汚染されているかどうかをテストするための制御実験を行う必要があります。

沈降細菌

地面からの作業領域の測定点の位置0.8〜1.2m程度、サンプリングポイントに配置されたペトリ皿が準備され、ペトリ皿カバーを開いて、指定された時間にさらされ、ペトリ皿が覆われ、ペトリ皿が一定温度インキュベーター培養に配置されます。

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地面から約1.2メートルの測定の高さ、15平方メートル以下のクリーンルームエリアで、部屋1ポイントの中央のみを測定できます。 15平方メートル以上の面積は、角に向かってポイントを測定する側壁から1メートルの斜めに4ポイントを測定する必要があります。

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地面から約0.8メートルの測定ポイントプレーンは、2メートルの間隔に従って、壁1メートルから30平方メートル以上の部屋から30平方メートル以上の部屋から測定点内にある部屋の30平方メートルの部屋から30平方メートルです。