MPPS <0.1 UM (எ.கா. சவ்வு நடுத்தர வடிப்பான்கள்) கொண்ட வடிப்பான்களுக்கான சோதனை மற்றும் வகைப்பாடு முறை ISO 29463 மற்றும் சோதனை தேவைகள்

சவ்வு வடிகட்டி மீடியாவின் நார்ச்சத்து அமைப்பு துகள் கண்டறிதல் மற்றும் வடிகட்டுதல் செயல்திறனின் உலகில் தனித்துவமான சவால்களை முன்வைக்கிறது. 0.07 μm சுற்றி மிகவும் ஊடுருவக்கூடிய துகள் அளவு (MPPS) உடன், சவ்வு வடிகட்டி மீடியா மைக்ரோ ஃபைபர் கிளாஸ் மீடியாவுடன் ஒப்பிடும்போது கணிசமாக சிறிய இழைகளைக் கொண்டுள்ளது, அவை 0.1 முதல் 0.25 μm வரையிலான MPP களைக் கொண்டுள்ளன.

சோதனை தேவைகள்

இந்த வடிப்பான்களை துல்லியமாக சோதிப்பது 0.05 μm என சிறிய துகள்களைக் கண்டறிய வேண்டும். இந்த தேவை நிலையான லேசர் துகள் கவுண்டர்களின் திறன்களை மீறுகிறது, அவை இதுபோன்ற சிறிய துகள்களைக் கண்டறியும் அளவுக்கு உணர்திறன் இல்லை. இதன் விளைவாக, சவ்வு வடிகட்டி ஊடகத்தை சோதிக்க ஒடுக்கம் துகள் கவுண்டர்கள் (சிபிசிக்கள்) தேவை. சிபிசிக்கள் மிகச் சிறிய துகள்களைக் கண்டறிய முடியும், வடிகட்டுதல் செயல்திறனை துல்லியமாக அளவிடுவதை உறுதி செய்கிறது.

ஐஎஸ்ஓ 29463 வகைப்பாடு

ஐஎஸ்ஓ 29463 இன் படி எம்.பி.பி.எஸ் மதிப்புகளின் அடிப்படையில் வடிப்பான்களை வகைப்படுத்துவது லேசர் துகள் கவுண்டர்களைப் பயன்படுத்தும் போது அவற்றின் கண்டறிதல் வரம்புகள் காரணமாக அணுக முடியாதது. இருப்பினும், இந்த சவாலை எதிர்கொள்ள ஐஎஸ்ஓ 29463 ஒரு மாற்று நடைமுறையை வழங்குகிறது. ஒரு தொடர்பு காரணி F ஐப் பயன்படுத்துவதன் மூலம், 0.14 μM ஊடுருவல் செயல்திறனை சோதிப்பதன் மூலம் MPPS வடிகட்டுதல் செயல்திறனைக் கணக்கிட தரநிலை அனுமதிக்கிறது. சிறிய துகள்களைக் கண்டறியும் திறன் கொண்ட உபகரணங்கள் தேவையில்லாமல் வடிகட்டி செயல்திறனை மதிப்பிடுவதற்கான நடைமுறை தீர்வை இந்த முறை வழங்குகிறது.

SC-FT-1406DU: ஒரு சிறந்த சோதனையாளர்

வடிகட்டி மீடியா எம்.பி.பி.எஸ் சோதனை தேவைகளுக்கு, SC-FT-1406DU ஒரு சிறந்த சோதனையாளர். 0.1 μm இல் அதிகபட்ச செயல்திறன் வரம்பில் 99.99999%, இது ஐஎஸ்ஓ 29463 தரத்தின்படி எம்.பி.பி.எஸ் சோதனையின் கடுமையான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்கிறது. இந்த சோதனையாளர் மிகவும் சவாலான வடிகட்டுதல் செயல்திறன் அளவீடுகளை கூட துல்லியமாகவும் நம்பகத்தன்மையுடனும் பெற முடியும் என்பதை உறுதி செய்கிறது.

முடிவு

இந்த கருத்தாய்வுகளின் வெளிச்சத்தில், பெரும்பாலான தொழில்துறை பயன்பாடுகளுக்கு 0.1 μm துகள் கவுண்டர் பொதுவாக போதுமானது. சவ்வு வடிப்பான்களில் துல்லியமான எம்.பி.பி.எஸ் அளவீட்டுக்கு தேவையான மிகச்சிறிய துகள்களை இது கண்டறியவில்லை என்றாலும், ஐஎஸ்ஓ 29463 இல் கோடிட்டுக் காட்டப்பட்டுள்ள மாற்று செயல்முறை துல்லியமான மற்றும் நம்பகமான வடிகட்டுதல் செயல்திறனை இன்னும் தீர்மானிக்க முடியும் என்பதை உறுதி செய்கிறது. SC-FT-1406DU, அதன் உயர் செயல்திறன் வரம்பைக் கொண்டு, இந்த சோதனைத் தேவைகளை மேலும் ஆதரிக்கிறது, கிடைக்கக்கூடிய துகள் கண்டறிதல் தொழில்நுட்பத்தின் தொழில்நுட்ப வரம்புகளுடன் நடைமுறை தீர்வுகளின் தேவையை சமநிலைப்படுத்துகிறது.