มาตรฐานการทดสอบตัวกรอง HEPA การจำแนกประเภทและแท่นทดสอบ (ระบบ)

แอปพลิเคชันตัวกรอง HEPA

ตัวกรอง HEPA ส่วนใหญ่จะใช้ในการจับอนุภาคและเรื่องแขวนลอยต่าง ๆ สูงกว่า0.5μm มันมักจะใช้เส้นใยแก้วที่มีขนาดใหญ่เป็นพิเศษเป็นวัสดุตัวกรองกระดาษออฟเซ็ตฟิล์มอลูมิเนียมและวัสดุอื่น ๆ เป็นแผ่นแบ่งและติดกาวด้วยโลหะผสมอลูมิเนียมกรอบไม้ ด้วยการพัฒนาวัสดุและเทคโนโลยีใหม่ ๆ ตัวกรอง HEPA ได้ค่อยๆพัฒนาจากส่วนใหญ่โดยใช้ใยแก้วเป็นสื่อตัวกรองเพื่อใช้วัสดุใหม่เช่น PTFE วัสดุนาโนฟิล์มและวัสดุคอมโพสิต

ตัวกรองประสิทธิภาพสูงมีประสิทธิภาพการกรองสูงความต้านทานต่ำความสามารถในการเก็บฝุ่นขนาดใหญ่และลักษณะอื่น ๆ สามารถใช้กันอย่างแพร่หลายในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ออพติคอลการผลิตคริสตัลเหลว LCD ยาชีวภาพเครื่องมือที่แม่นยำเครื่องดื่มและอาหารการพิมพ์ PCB

วิธีการทดสอบตัวกรอง HEPA

วิธีการทดสอบตัวกรอง HEPA ผ่านวิธีโซเดียมเปลวไฟ, วิธีหมอกน้ำมัน, วิธี DOP, วิธีการเรืองแสงและวิธีการนับอนุภาค วิธีโซเดียมเปลวไฟมีความไวต่ำและไม่สามารถตรวจจับตัวกรอง ULPA ได้ วิธีหมอกน้ำมันเป็นเรื่องง่ายที่จะทำให้เกิดความเสียหายของตัวกรองในระหว่างการทดสอบและไม่สามารถอ่านได้โดยตรงและระยะเวลาการทดสอบนั้นยาว วิธี DOP ถูก จำกัด เนื่องจาก DOP เป็นอันตรายต่อร่างกายมนุษย์และจัดเป็นสารอันตราย วิธีการเรืองแสงในปัจจุบันมีการใช้เป็นครั้งคราวเมื่อทดสอบตัวกรองในสนามในระบบอุตสาหกรรมนิวเคลียร์ วิธีการนับอนุภาคได้กลายเป็นวิธีการหลักสำหรับการทดสอบตัวกรอง HEPA และการทดสอบตัวกรอง ULPA

เมื่อเทียบกับวิธีการใช้หมอกน้ำมันและวิธี DOP ขนาดอนุภาคของละอองที่ใช้เป็นสเปรย์ทดสอบก็แตกต่างกันเช่นกัน สองวิธีแรกผลการทดสอบอยู่ที่0.3μmในขณะที่วิธีการนับอนุภาคเพื่อทดสอบผลลัพธ์ที่ MPP ขนาดอนุภาคที่แทรกซึมส่วนใหญ่ข้อกำหนดการทดสอบนั้นเข้มงวดผลลัพธ์นั้นแม่นยำมากขึ้น

มาตรฐานการทดสอบตัวกรอง HEPA

มาตรฐานอุตสาหกรรมในปัจจุบันที่ได้รับการยอมรับอย่างสูงคือ EN 1822 ตัวกรองอากาศที่มีประสิทธิภาพสูง (EPA, HEPA และ ULPA) ในยุโรปและ ISO 29463 ฟิลเตอร์ที่มีประสิทธิภาพสูงและตัวกรองสื่อสำหรับการกำจัดอนุภาคในอากาศทั่วโลก

การจำแนกประเภท HEPA

การจำแนกประเภทของตัวกรอง HEPA ขึ้นอยู่กับประสิทธิภาพโดยรวมและผลการทดสอบประสิทธิภาพในท้องถิ่นซึ่งแตกต่างกันเล็กน้อยระหว่าง EN 1822 และ ISO ดังแสดงในตารางด้านล่าง มีกลุ่ม E, กลุ่ม H และกลุ่ม U, ตัวกรอง 7 คลาสทั้งหมดใน EN 1822 แต่ 13 คลาสตัวกรองใน ISO 29463

EN 1822	ISO 29463	ประสิทธิภาพโดยรวม	ประสิทธิภาพในท้องถิ่น
E10	-	≥ 85%	-
E11	iso 15 e	≥ 95%	-
	ISO 20 E	≥ 99%	-
E12	ISO 25 E	≥ 99.5%	-
	ISO 30 E	≥ 99.90%	-
H13	ISO 35 H	≥99.95%	≥99.75%
	ISO 40 ชั่วโมง	≥99.99%	≥99.95%
H14	ISO 45 H	≥99.995%	≥99.975%
	iso 50 u	≥99.999%	≥99.995%
U15	iso 55 u	≥99.9995%	≥99.9975%
	iso 60 u	≥99.9999%	≥99.9995%
U16	iso 65 u	≥99.99995%	≥99.99975%
	ISO 70U	≥99.99999%	≥99.9999%
U17	iso 75 u	≥99.999995%	≥99.9999%

การทดสอบ HEPA (การทดสอบตัวกรองอากาศประสิทธิภาพ)

นอกเหนือจากประสิทธิภาพโดยรวมและประสิทธิภาพในท้องถิ่นแล้วตัวกรองที่อยู่เหนือชั้น H13 จะต้องสแกนเพื่อตรวจจับการรั่วไหลทีละตัว ขึ้นอยู่กับวัสดุตัวกรองที่ใช้ในตัวกรองและสถานการณ์การใช้ตัวกรอง ตัวกรอง HEPA และตัวกรอง ULPA จำเป็นต้องมีละอองหลากหลายชนิดให้เลือกเมื่อทำการทดสอบซึ่งเป็นที่ต้องการของเครื่องกำเนิดละอองลอย ตัวอย่างเช่นสเปรย์ DEHS มักจะใช้ แต่เมื่อวัสดุตัวกรองเป็น PTFE หรือตัวกรองถูกใช้ในเวิร์กช็อปเซมิคอนดักเตอร์จะต้องใช้สเปรย์บอลลูกเล็ก PSL เพื่อตอบสนองความต้องการการทดสอบ

อุปกรณ์ทดสอบตัวกรอง HEPA

อุปกรณ์ทดสอบที่ได้รับการยอมรับมากที่สุดสำหรับ ตัวกรอง HEPA/ULPA ในตลาดคือ Topas AFS 150 ระบบทดสอบการสแกนตัวกรอง HEPA/ULPA อัตโนมัติและ TOPAS AFS 152 ระบบทดสอบการสแกนตัวกรอง HEPA/ULPA ด้วยตนเองจาก Topas ประเทศเยอรมนี ประเทศอื่น ๆ เป็นเรื่องยากที่จะผลิตอุปกรณ์ทดสอบที่สามารถแข่งขันกับห่วงโซ่และเทคโนโลยีอุตสาหกรรมที่ไม่สมบูรณ์ที่สอดคล้องกัน

อย่างไรก็ตามหลังจากการพัฒนาอย่างรวดเร็วมานานหลายทศวรรษจีนได้จัดตั้งห่วงโซ่อุตสาหกรรมที่สมบูรณ์ในอุตสาหกรรมอุปกรณ์ทดสอบการกรองตั้งแต่การประมวลผลแผ่นโลหะของเปลือกของแท่นทดสอบไปจนถึงส่วนประกอบหลักเช่นเครื่องกำเนิดละอองและเคาน์เตอร์อนุภาคไปจนถึงฮาร์ดแวร์และซอฟต์แวร์สำหรับการควบคุมการกระทำ ด้วยเทคโนโลยีเหล่านี้ Scince Purge Technology มีความสามารถในการผลิตอุปกรณ์ทดสอบตัวกรอง (สำหรับตัวกรอง HEPA/ULPA และตัวกรองอากาศทั่วไป) และตลอดหลายปีที่ผ่านมาของการวิจัยและพัฒนาเราได้สื่อสารกับลูกค้าของเราเพื่อปรับปรุงผลิตภัณฑ์ของเราต่อไป ในปัจจุบันอุปกรณ์ทดสอบตัวกรองและอุปกรณ์ทดสอบสื่อตัวกรองของเราเป็นลูกค้าบริการในกว่า 30 ประเทศและภูมิภาคทั่วโลกรวมถึงอิตาลีสหรัฐอเมริกาเกาหลีไทยอินเดียรัสเซีย ฯลฯ

SC-L8023/L8023U ได้รับการออกแบบและผลิตสำหรับผู้ผลิตตัวกรอง HEPA/ULPA ด้วยการทำงานที่ง่ายและผลการทดสอบที่มั่นคง ตัวกรองมาตรฐานมีไว้สำหรับการสอบเทียบทุกวันของระบบทดสอบ