HEPAフィルター は、主に粒子と0.5μmを超えるさまざまな懸濁物質をキャプチャするために使用されます。通常、フィルター材料、オフセット紙、アルミニウムフィルム、および分割プレートとしてその他の材料として、ウルトラファインガラス繊維を採用し、木製フレームのアルミニウム合金で接着します。新しい材料と技術の開発により、HEPAフィルターは、主にガラス繊維をフィルター媒体として使用して、PTFE、ナノフィルム材料、複合材料などの新しい材料を使用するように徐々に進化しました。
高効率フィルターには、ろ過効率が高く、耐性が低く、大型ダスト保持能力およびその他の特性があり、光学エレクトロニクス、LCD液晶製造、生物医学、精密機器、飲料と食品、PCB印刷、その他の産業では、大気供給の終了時にダストフリー精製ワークショップがあります。
HEPAフィルターテスト方法、ナトリウム火炎法、オイルミスト法、DOP法、蛍光法、粒子カウント法を介して。ナトリウム火炎法は感度が低く、ULPAフィルターを検出できません。オイルミスト法は、テスト中にフィルターの損傷を引き起こすのが簡単で、直接読むことができず、テスト期間は長いです。 DOPは人体に有害であり、危険物質として分類されるため、DOPメソッドは制限されています。現在、蛍光法は、原子力産業システムの分野でフィルターをテストするときにのみ使用されることがあります。粒子カウント方法は、HEPAフィルターおよびULPAフィルターテストの主流の方法となっています。
オイルミスト法およびDOP法と比較して、テストエアロゾルとして使用されるエアロゾルの粒子サイズも異なります。最初の2つの方法、テスト結果は0.3μmであり、粒子カウント方法はほとんどの浸透粒子サイズMPPで結果をテストする方法で、テスト要件は厳しいものであり、結果はより正確です。
より高く認識されている現在の業界基準は、ヨーロッパの1822年の高効率エアフィルター(EPA、HEPA、ULPA)とISO 29463高効率フィルターとフィルターメディアで、世界中の空気中の粒子を除去することです。
HEPAフィルターの分類は、以下の表に示すように、EN 1822とISOの間でわずかに異なる全体的な効率とローカル効率テストの結果に基づいています。 Group E、Group H、Group U、EN 1822には合計7Classesフィルターがありますが、ISO 29463には13のクラスフィルターがあります。
EN 1822 |
ISO 29463 |
全体的な効率 |
ローカル効率 |
E10 |
- |
85%以上 |
- - |
E11 |
ISO 15 e |
95%以上 |
- - |
ISO 20 e |
99%以上 |
- - |
|
E12 |
ISO 25 e |
99.5%以上 |
- |
ISO 30 e |
99.90%以上 |
- - |
|
H13 |
ISO 35時間 |
≥99.95% |
≥99.75% |
ISO 40 h |
99.99%以上 |
≥99.95% |
|
H14 |
ISO 45時間 |
99.995%以上 |
99.975%以上 |
ISO 50 u |
99.999%以上 |
99.995%以上 |
|
U15 |
ISO 55 u |
≥99.9995% |
99.9975%以上 |
ISO 60 u |
99.999%以上 |
≥99.9995% |
|
U16 |
ISO 65 u |
≥99.99995% |
99.9975%以上 |
ISO 70U |
99.9999%以上 |
99.999%以上 |
|
U17 |
ISO 75 u |
≥99.99995% |
99.999%以上 |
全体的な効率とローカル効率に加えて、H13クラスの上のフィルターを1つずつリーク検出のためにスキャンする必要があります。フィルターで使用されるフィルター材料とフィルターの使用シナリオに応じて、 HEPAフィルター とULPAフィルターには、テスト時に選択できるさまざまなエアロゾルが必要であり、エアロゾルジェネレーターに需要があります。たとえば、Dehs Aerosolが通常使用されますが、フィルター材料がPTFEである場合、またはフィルターが半導体ワークショップで使用される場合、PSL Small Ball Solid Aerosolがテスト要件を満たすために必要です。
最も認識されているテスト機器 市場のHEPA/ULPAフィルター は、ドイツのTopasからのManual HEPA/ULPAフィルタースキャンテストシステム152 AFS 150自動HEPA/ULPAフィルタースキャンテストシステムとTOPAS AFS AFSです。他の国は、対応する不完全な産業チェーンと技術と競合できるテスト機器を製造するのが困難です。
しかし、数十年にわたる急速な発展の後、中国は、試験装置のシェルの板金加工から、エアロゾルジェネレーターや粒子カウンターなどのコアコンポーネント、テストアクションの制御のためのハードウェアやソフトウェアまで、ろ過試験装置産業において完全な産業チェーンを形成しました。これらのテクノロジーに依存して、Scince Purge Technologyにはフィルターテスト機器を製造する機能があります(HEPA/ULPAフィルターと一般的なエアフィルター用)。そして、長年のR&Dを通じて、私たちはお客様と通信して製品をさらに改善してきました。現在、当社のフィルターテスト機器とフィルターメディアテスト機器は、イタリア、米国、韓国、タイ、インド、ロシアなど、世界中の30を超える国と地域のサービス顧客です。
SC-L8023/L8023Uは、簡単な操作と安定したテスト結果を備えたHEPA/ULPAフィルターメーカー向けに設計および製造されています。標準フィルターは、テストシステムの毎日のキャリブレーションのために提供されます。