Bộ lọc HEPA chủ yếu được sử dụng để bắt các hạt và các vấn đề lơ lửng khác nhau trên 0,5μm. Nó thường áp dụng sợi thủy tinh siêu mịn làm vật liệu lọc, giấy bù, màng nhôm và các vật liệu khác như tấm phân chia và dán bằng hợp kim nhôm khung gỗ. Với sự phát triển của các vật liệu và công nghệ mới, bộ lọc HEPA đã dần phát triển từ chủ yếu sử dụng sợi thủy tinh làm phương tiện lọc để sử dụng các vật liệu mới như PTFE, vật liệu sợi nano và vật liệu composite.
Bộ lọc hiệu quả cao có hiệu quả lọc cao, điện trở thấp, khả năng giữ bụi lớn và các đặc điểm khác, có thể được sử dụng rộng rãi trong thiết bị điện tử quang, sản xuất tinh thể lỏng LCD, y học sinh học, dụng cụ chính xác, đồ uống và thực phẩm, in PCB và các ngành công nghiệp không có công nghiệp.
Phương pháp kiểm tra bộ lọc HEPA
Phương pháp kiểm tra bộ lọc HEPA, thông qua phương pháp ngọn lửa natri, phương pháp sương mù dầu, phương pháp DOP, phương pháp huỳnh quang và phương pháp đếm hạt. Phương pháp ngọn lửa natri có độ nhạy thấp và không thể phát hiện các bộ lọc ULPA. Phương pháp sương mù dầu rất dễ gây ra thiệt hại bộ lọc trong quá trình thử nghiệm và không thể đọc trực tiếp và thời gian thử nghiệm dài. Phương pháp DOP bị hạn chế vì DOP có hại cho cơ thể con người và được phân loại là chất nguy hiểm. Phương pháp huỳnh quang hiện chỉ được sử dụng khi thử nghiệm các bộ lọc trong lĩnh vực này trong các hệ thống công nghiệp hạt nhân. Phương pháp đếm hạt đã trở thành phương pháp chính cho bộ lọc HEPA và thử nghiệm bộ lọc ULPA.
So với phương pháp sương mù dầu và phương pháp DOP, kích thước hạt của aerosol được sử dụng làm khí dung thử nghiệm cũng khác nhau. Hai phương pháp đầu tiên, kết quả thử nghiệm là 0,3μm, trong khi phương pháp đếm hạt để kiểm tra kết quả ở hầu hết các MPP kích thước hạt được thâm nhập, các yêu cầu thử nghiệm nghiêm ngặt, kết quả chính xác hơn.
Tiêu chuẩn kiểm tra bộ lọc HEPA
Các tiêu chuẩn công nghiệp hiện tại được công nhận nhiều hơn là các bộ lọc không khí hiệu quả cao EN 1822 (EPA, HEPA và ULPA) ở Châu Âu và ISO 29463 Bộ lọc hiệu quả cao và phương tiện lọc để loại bỏ các hạt trong không khí trên toàn thế giới.
Bộ lọc phân loại HEPA
Việc phân loại các bộ lọc HEPA dựa trên hiệu quả tổng thể và kết quả kiểm tra hiệu quả cục bộ, khác nhau một chút giữa EN 1822 và ISO, như trong bảng dưới đây. Có Nhóm E, Nhóm H và Nhóm U, tổng số 7 Lớp lọc trong EN 1822, nhưng 13 bộ lọc lớp trong ISO 29463.
EN 1822
ISO 29463
Hiệu quả tổng thể
Hiệu quả địa phương
E10
-
85%
——
E11
ISO 15 e
≥ 95%
——
ISO 20 e
≥ 99%
——
E12
ISO 25 e
≥ 99,5%
-
ISO 30 e
≥ 99,90%
——
H13
ISO 35 h
≥99,95%
≥99,75%
ISO 40 h
≥99,99%
≥99,95%
H14
ISO 45 h
≥99,995%
≥99,975%
Iso 50 u
≥99,999%
≥99,995%
U15
Iso 55 u
≥99,995%
≥99.9975%
Iso 60 u
≥99.9999%
≥99,995%
U16
Iso 65 u
≥99.9995%
≥99.9975%
ISO 70U
≥99,9999%
≥99.9999%
U17
Iso 75 u
≥99.99995%
≥99.9999%
Kiểm tra HEPA (Kiểm tra bộ lọc không khí hiệu suất)
Ngoài hiệu quả tổng thể và hiệu quả cục bộ, các bộ lọc trên lớp H13 cần được quét để phát hiện rò rỉ từng cái một. Tùy thuộc vào vật liệu bộ lọc được sử dụng trong bộ lọc và kịch bản sử dụng bộ lọc, Các bộ lọc HEPA và bộ lọc ULPA được yêu cầu phải có nhiều loại aerosol để lựa chọn khi thử nghiệm, điều này đặt ra nhu cầu trên máy phát điện aerosol. Ví dụ, aerosol DEHS thường được sử dụng, nhưng khi vật liệu lọc là PTFE hoặc bộ lọc được sử dụng trong một xưởng bán dẫn, cần có aerosol rắn bóng nhỏ PSL để đáp ứng các yêu cầu thử nghiệm.
Thiết bị kiểm tra bộ lọc HEPA
Các thiết bị kiểm tra được công nhận nhất cho Các bộ lọc HEPA/ULPA trên thị trường là TOPAS AFS 150 Hệ thống kiểm tra quét bộ lọc HEPA/ULPA tự động và Hệ thống thử nghiệm bộ lọc HEPA/ULPA của TOPAS AFS 152 từ Topas, Đức. Các quốc gia khác rất khó sản xuất thiết bị thử nghiệm có thể cạnh tranh với chuỗi công nghiệp và công nghệ không đầy đủ tương ứng.
Tuy nhiên, sau nhiều thập kỷ phát triển nhanh chóng, Trung Quốc đã hình thành một chuỗi công nghiệp hoàn chỉnh trong ngành công nghiệp thiết bị thử nghiệm lọc, từ việc xử lý kim loại tấm vỏ của các giàn thử nghiệm, đến các thành phần cốt lõi, như máy phát điện aerosol và quầy hạt, đến phần cứng và phần mềm để kiểm soát các hành động thử nghiệm. Dựa vào các công nghệ này, Scince Purge Technology có khả năng sản xuất thiết bị thử nghiệm bộ lọc (đối với các bộ lọc HEPA/ULPA và bộ lọc không khí chung). Và qua nhiều năm R & D, chúng tôi đã giao tiếp với khách hàng để cải thiện hơn nữa các sản phẩm của chúng tôi. Hiện tại, thiết bị kiểm tra bộ lọc và thiết bị thử nghiệm bộ lọc của chúng tôi là khách hàng dịch vụ tại hơn 30 quốc gia và khu vực trên thế giới, bao gồm Ý, Hoa Kỳ, Hàn Quốc, Thái Lan, Ấn Độ, Nga, v.v.
SC-L8023/L8023U được thiết kế và sản xuất cho các nhà sản xuất bộ lọc HEPA/ULPA với kết quả thử nghiệm dễ dàng và kiểm tra ổn định. Bộ lọc tiêu chuẩn được cung cấp để hiệu chuẩn hàng ngày của hệ thống thử nghiệm.
