en 1822-4 ການກັ່ນຕອງອາກາດສູງສຸດທີ່ມີປະສິດຕິພາບສູງ (EPA, HEPA ແລະ ULPA) ສ່ວນທີ 4: ການກໍານົດການຮົ່ວໄຫຼຂອງອົງປະກອບການກັ່ນຕອງ (ວິທີການສະແກນ).

ຜູ້ທົດສອບການກັ່ນຕອງແບບອັດຕະໂນມັດ Sc-FT-FT-1406DH-1406DH-SROY-FT-14066DH-FT-14066DH-STABLE ຈາກຜູ້ທົດສອບທີ່ມີປະສິດທິພາບຂອງຕົວກອງປະຊຸມສະໄຫມອື່ນໆເພາະວ່າມີປະສິດທິພາບທີ່ດີເລີດໃນການທົດສອບທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງແລະຂໍ້ມູນທີ່ຖືກຕ້ອງ. ມັນສາມາດໃຊ້ໄດ້ກັບບາງຄວາມຕ້ອງການຂອງການກັ່ນຕອງທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ, ເຊັ່ນ: ເຄື່ອງກອງ H13, P100 ແລະ N100, ແລະຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຄວາມຖືກຕ້ອງຂອງຜົນໄດ້ຮັບສູງແມ່ນໃຊ້ໃນການກວດກາທີ່ມີຄຸນນະພາບ. ທາງເລືອກທີ່ນໍາເຂົ້າ0.1μm Counter, ສາມາດທົດສອບການກັ່ນຕອງ ULPA.