Stav testování čistých místností lze rozdělit do tří kategorií
1, prázdná státní zařízení čisté místnosti Všechny potrubí připojené a běží, ale žádné výrobní zařízení, materiály a výrobní personál.
2, Static byl postaven ve všech zařízeních čisté místnosti nainstalované ve výrobním zařízení a dodavatelé, kteří se dohodli majitel cesty k testování daleko, ale žádný výrobní personál v terénu.
3, dynamická zařízení v souladu s ustanoveními způsobu řízení státu a ustanoveními personálu přítomného předepsaným způsobem.
Proces testování čistých místností
Pokud musí být stanovení všech použitých nástrojů a zařízení identifikováno, kalibrováno nebo kalibrováno podle předpisů. Před měřením musí být systém, čistá místnost, strojní místnost atd. Komplexní čištění, čištění a nastavení systému musí být po určitou dobu prováděny nepřetržitě a poté detekce úniku a další položky měření. Postup pro měření čisté místnosti je následující.
Foukání vzduchu dmychadla → Indoor Cleaning → Nastavení objemu vzduchu → Instalace mezilehlých filtrů → Instalace vysoce účinných filtrů → Provoz systému → Detekce úniku vysoce účinných filtrů → Nastavení objemu vzduchu → Nastavení vnitřního statického tlaku → Úpravy teploty a vlhkosti → Upravení teploty a upravení teploty a upravené teploty → Umožňování přiměřenosti přiměřenosti v indolním určování v indovním úbytku → Srovnání s jednotlivými úklid → Umožňování v nouzi v nouzi v nouzi v nouzi v nouzi v nouzi v nouzi v nouzi v nouzi v nouzi v nouzi v nouzi v nouzi v nouzové jemné úrovni vzestupné jemné úrovně úklidové úrovně v ústavním útržku. Vnitřní stanovení bakteriálních planktonických bakterií a usazených bakterií → výrobní zařízení související s prací a úpravou.
Testovací základ
Včetně specifikací, výkresů, návrhových dokumentů a technických údajů o zařízení. Rozděleno do následujících dvou kategorií:
1, návrhové návrhové dokumenty třídy, změny návrhu v podpůrných dokumentech a relevantních dohodách, výkresy, jak jsou postaveny;
2, technické informace o zařízení.
Testovací metody a stanovení výsledků
1 、 Test objemu vzduchu nebo rychlosti větru
(1) Přístroje pro měření instrumentace a životního prostředí
Anemometr oběžné kosti, anemometr s horkým koulím, bitou, mikro-tlakový měřič, objem vzduchu. Okolní teplota při teplotě místnosti nebo konstrukční teplotě.
(2) Vzorkování oblastí s požadavky na návrh pro testování.
(3) Detekce objemu vzduchu a rychlosti větru musí být nejprve čištěna klimatizace, různé účinky musí být v návrhu získaných objemových a rychlostí větru.
(1) Systém turbulentního toku čistého toku měřeného objemu vzduchu by měl být větší než příslušná hodnota objemu vzduchu v konstrukčním vzduchu, ale neměla by překročit 20%. Naměřený nový objem vzduchu a návrh rozdílu mezi novým objemem vzduchu by neměl překročit návrh nového objemu vzduchu ± 10%. Objem vnitřního vzduchu každého vzduchového zásuvky a jejich příslušný návrhový objemový rozdíl vzduchu by neměl překročit ± 15% objemu designu vzduchu.
(2) Jednosměrná čistá laminární tok měřená průměrná rychlost vnitřního vzduchu by měla být větší než rychlost vzduchu v konstrukci, ale neměla by překročit 20%. Celkový měřený objem čerstvého vzduchu a návrh nového rozdílu objemu vzduchu by neměly překročit návrh nového objemu vzduchu ± 10%.
2, test rozdílu ve vnitřních statických tlacích
(1) Nástroje a zařízení a měření prostředí nakloněné mikromanometrem, digitální mikromanometr atd. Okolní teplota při teplotě místnosti nebo konstrukční teplotě.
(2) Vzorkování různých sousedních oblastí s požadavky na návrh pro implementaci testu.
(3) Výsledky testu testu technických požadavků by měly být v souladu s následujícími ustanoveními
(1) Mezi sousedními čistými místnostmi různých úrovní a čistých místností a nečineckými pokoji mezi statickým tlakovým rozdílem by neměly být menší než 5PA.
2) Rozdíl čistého pokoje a venkovního statického tlaku by měl být větší než 10PA.
(3) Čistota vyšší než 100 úrovní jednosměrného průtokového laminárního toku čisté místnosti ve stavu otevřených dveří u vchodu a výstup na vnitřní straně 0,6 m by neměla být měřena více než horní hranice koncentrace vnitřní úrovně.
3 、 Únik vzduchového filtru
(1) Instrumenty a environmentální měření přístroje pro počítadlo prachu částic, generátor aerosolu. Okolní teplota při teplotě místnosti nebo konstrukční teplotě.
(2) Vzorkování tělesa s vysokou účinností filtru před vstupem na výrobce místa by mělo být vyžadováno, aby provedl testy výkonu a poskytl osvědčení o dodržování předpisů. Vysoce účinné vzduchové filtry nainstalované v jednosměrné čisté místnosti toku by měly být testovány na únik jeden po druhém.
(3) Provozní proces a určení úniku filtru je instalace dokončeného testu úniku vzduchového filtru platí pro prázdný stav nebo statickou čistou místnost. Pro instalaci vysoce účinných filtrů nainstalovaných v konec přívodního a výfukového vzduchu po aplikaci metody skenování pro filtraci, instalaci hranice a metoda skenování úniku průřezu metody detektoru úniku a objemu vzorkování minimum 1 l/min metody částic proti. Zde se pro detekci úniku používá metoda čítače částic.
(1) Zkontrolovaný filtr musí měřit objem vzduchu v konstrukční rychlosti vzduchu mezi 80% ~ 120% operace.
(2) čítač částic se používá ke kontrole úniku vysoce účinných filtrů.
Její strana na větru by měla být zavedena do jednotné koncentrace atmosférického prachu nebo jiného aerosolového prachu. Koncentrace prachových částic větších nebo rovných 0,5 μm by měla být větší nebo rovná 3,5 x 105pc/m3; nebo koncentrace prachových částic větších nebo rovných 0,1 uM by měla být větší nebo rovná 3,5 x 107pc/m3, pokud by detekce vysoce účinných filtrů třídy D vyšší nebo rovná koncentraci částic prachu 0,1 um.
(3) Detekce úniku bude umístěna do vzorkovacího portu ve vzdálenosti 2 ~ 3 cm od povrchu filtru, který byl kontrolován rychlostí 5 ~ 20 mm/s, aby se celý průběh filtru zkontroloval, lepidlo záhlaví a instalaci rámce a instalace rámce při skenování. Během procesu skenování by se měly být nalezeny části, kde se počet náhle zvyšuje, a je nalezen jev úniku, tj. Únik by měl být opraven silikonovou gumou nebo by měl být vyměněn vysoce účinný filtr.
