วิธีการทดสอบและกระบวนการทำความสะอาดห้อง

สถานะการทดสอบห้องพักสะอาดสามารถแบ่งออกเป็นสามประเภท

1, สิ่งอำนวยความสะดวกของรัฐที่ว่างเปล่าของห้องสะอาดทั้งหมดท่อเชื่อมต่อและการทำงาน แต่ไม่มีอุปกรณ์การผลิตวัสดุและบุคลากรการผลิต

2, Static ได้ถูกสร้างขึ้นในโรงงานทั้งหมดของห้องสะอาดที่ติดตั้งในอุปกรณ์การผลิตและซัพพลายเออร์ที่ได้รับการยอมรับจากเจ้าของวิธีการทดสอบการเลี้ยวไกล แต่ไม่มีบุคลากรการผลิตในสนาม

3 สิ่งอำนวยความสะดวกแบบไดนามิกตามบทบัญญัติของวิธีการดำเนินงานของรัฐและบทบัญญัติของบุคลากรที่มีอยู่ในลักษณะการทำงานที่กำหนด

กระบวนการทดสอบการทำความสะอาด

ในกรณีที่การกำหนดเครื่องมือและอุปกรณ์ทั้งหมดที่ใช้จะต้องระบุการสอบเทียบหรือสอบเทียบตามกฎระเบียบ ก่อนการวัดระบบห้องทำความสะอาดห้องเครื่องจักร ฯลฯ จะต้องเป็นการทำความสะอาดที่ครอบคลุมการทำความสะอาดและการปรับระบบจะต้องทำงานอย่างต่อเนื่องเป็นระยะเวลาหนึ่งจากนั้นตรวจจับการรั่วไหลและรายการอื่น ๆ ของการวัด ขั้นตอนสำหรับการวัดห้องสะอาดมีดังนี้

เป่าลมพัด→การทำความสะอาดในร่ม→การปรับระดับอากาศ→การติดตั้งตัวกรองระดับกลาง→การติดตั้งตัวกรองประสิทธิภาพสูง→การทำงานของระบบ→การตรวจจับการรั่วไหลของฟิลเตอร์ประสิทธิภาพสูง→การปรับปริมาณอากาศที่ไม่ผ่านการตรวจสอบความเร็วคงที่ ความสะอาดในร่ม→การตรวจหาแบคทีเรียแบคทีเรียแบคทีเรียในร่มและแบคทีเรียที่ตัดสิน→อุปกรณ์การผลิตที่เกี่ยวข้องกับงานและการปรับเปลี่ยน

พื้นฐานการทดสอบ

    รวมถึงข้อมูลจำเพาะภาพวาดเอกสารการออกแบบและข้อมูลทางเทคนิคของอุปกรณ์ แบ่งออกเป็นสองประเภทต่อไปนี้:

    1, เอกสารการออกแบบคลาสการออกแบบ, การเปลี่ยนแปลงการออกแบบในเอกสารสนับสนุนและข้อตกลงที่เกี่ยวข้อง, ภาพวาดที่สร้างขึ้น

    2, ข้อมูลทางเทคนิคของอุปกรณ์

วิธีทดสอบและการกำหนดผลลัพธ์

    1、 การทดสอบปริมาณอากาศหรือความเร็วลม

    (1) เครื่องมือวัดและเครื่องมือวัดสิ่งแวดล้อม

เครื่องวัดความเร็วลมของใบพัด, เครื่องวัดความเร็วลมร้อน, บิต, เครื่องวัดความดันไมโคร, เครื่องดูดควันปรับระดับอากาศ อุณหภูมิแวดล้อมที่อุณหภูมิห้องหรืออุณหภูมิการออกแบบ

    (2) การสุ่มตัวอย่างพื้นที่ที่มีข้อกำหนดการออกแบบสำหรับการทดสอบ

    (3) ปริมาณอากาศและการตรวจจับความเร็วลมจะต้องได้รับการปรับอากาศให้บริสุทธิ์ก่อนผลกระทบต่าง ๆ จะต้องอยู่ในการออกแบบปริมาณอากาศและสภาพความเร็วลมที่ได้รับ

    (1) ระบบห้องพักที่สะอาดของการไหลแบบปั่นป่วนของค่าปริมาตรอากาศที่วัดได้ควรมากกว่าค่าปริมาณอากาศการออกแบบที่เกี่ยวข้อง แต่ไม่ควรเกิน 20% วัดปริมาณอากาศใหม่และการออกแบบความแตกต่างระหว่างปริมาณอากาศใหม่ไม่ควรเกินการออกแบบปริมาณอากาศใหม่± 10% ปริมาตรอากาศในร่มของแต่ละเต้าเสียบอากาศและความแตกต่างของปริมาณอากาศการออกแบบที่เกี่ยวข้องไม่ควรเกิน± 15% ของปริมาณการออกแบบอากาศ

    (2) การไหลของลามินาร์แบบทิศทางเดียวที่สะอาดห้องวัดค่าเฉลี่ยความเร็วอากาศในร่มควรสูงกว่าความเร็วอากาศออกแบบ แต่ไม่ควรเกิน 20% ปริมาณอากาศบริสุทธิ์ที่วัดได้ทั้งหมดและการออกแบบความแตกต่างของปริมาณอากาศใหม่ไม่ควรเกินการออกแบบปริมาณอากาศใหม่± 10%

    2, การทดสอบความแตกต่างของแรงดันคงที่ในร่ม

    (1) เครื่องมือและอุปกรณ์และเครื่องมือวัดสิ่งแวดล้อม Micromanometer แบบเอียง, เครื่องวัดความร้อนแบบดิจิตอล, ฯลฯ อุณหภูมิแวดล้อมที่อุณหภูมิห้องหรืออุณหภูมิการออกแบบ

    (2) การสุ่มตัวอย่างพื้นที่ต่าง ๆ ที่อยู่ติดกันพร้อมข้อกำหนดการออกแบบเพื่อดำเนินการทดสอบ

    (3) ข้อกำหนดทางเทคนิคผลการทดสอบความแตกต่างของแรงดันคงที่ควรสอดคล้องกับบทบัญญัติต่อไปนี้

    (1) ระหว่างห้องพักที่สะอาดใกล้เคียงในระดับที่แตกต่างกันและห้องพักที่สะอาดและห้องพักที่ไม่สะอาดระหว่างความแตกต่างของแรงดันคงที่ไม่ควรน้อยกว่า 5pa

    2) ห้องทำความสะอาดและความแตกต่างของแรงดันคงที่กลางแจ้งควรมากกว่า 10pa

    (3) ความสะอาดสูงกว่า 100 ระดับของการไหลแบบทิศทางเดียวการไหลของลามินาร์ห้องสะอาดในสถานะประตูเปิดที่ทางเข้าและทางออกของด้านในร่มของ 0.6m ไม่ควรวัดมากกว่าขีด จำกัด บนของความเข้มข้นของระดับในร่ม

    3、 การรั่วไหลของตัวกรองอากาศ

    (1) เครื่องมือและเครื่องมือวัดสิ่งแวดล้อมตัวนับอนุภาคฝุ่นตัวสร้างสเปรย์ อุณหภูมิแวดล้อมที่อุณหภูมิห้องหรืออุณหภูมิการออกแบบ

    (2) การสุ่มตัวอย่างตัวกรองที่มีประสิทธิภาพสูงก่อนที่จะเข้าสู่ผู้ผลิตไซต์ควรต้องทำการทดสอบประสิทธิภาพและให้ใบรับรองการปฏิบัติตาม ตัวกรองอากาศที่มีประสิทธิภาพสูงที่ติดตั้งในห้องสะอาดแบบทิศทางเดียวควรได้รับการทดสอบสำหรับการรั่วไหลทีละหนึ่ง

    (3) กระบวนการดำเนินการและกำหนดการรั่วไหลของตัวกรองคือการติดตั้งการทดสอบการรั่วไหลของตัวกรองอากาศที่เสร็จสมบูรณ์จะใช้กับสถานะที่ว่างเปล่าหรือห้องสะอาดคงที่ สำหรับการติดตั้งตัวกรองที่มีประสิทธิภาพสูงที่ติดตั้งในแหล่งจ่ายไฟและอากาศไอเสียของการประยุกต์ใช้วิธีการสแกนสำหรับการกรองการติดตั้งเส้นขอบและวิธีการสแกนการรั่วไหลแบบตัดขวางแบบเต็มรูปแบบของวิธีการตรวจจับการรั่วไหลและปริมาณการสุ่มตัวอย่างอย่างน้อย 1L/นาทีของวิธีเคาน์เตอร์อนุภาคสอง ที่นี่วิธีการนับอนุภาคใช้สำหรับการตรวจจับการรั่วไหล

    (1) ตัวกรองที่ตรวจสอบจะต้องวัดปริมาณอากาศในความเร็วอากาศออกแบบระหว่าง 80% ~ 120% ของการทำงาน

    (2) ตัวนับอนุภาคใช้เพื่อตรวจสอบการรั่วไหลของตัวกรองที่มีประสิทธิภาพสูง

    ด้านเหนือลมควรได้รับการแนะนำให้รู้จักกับความเข้มข้นของฝุ่นบรรยากาศหรืออากาศฝุ่นละอองอื่น ๆ ความเข้มข้นของอนุภาคฝุ่นมากกว่าหรือเท่ากับ0.5μmควรสูงกว่าหรือเท่ากับ 3.5 × 105pc/m3 หรือความเข้มข้นของอนุภาคฝุ่นมากกว่าหรือเท่ากับ0.1μmควรสูงกว่าหรือเท่ากับ 3.5 × 107pc/m3 หากการตรวจจับตัวกรองประสิทธิภาพสูง Class D สูงกว่าหรือเท่ากับความเข้มข้นของอนุภาคฝุ่น0.1μmควรสูงกว่าหรือเท่ากับ 3.5 × 109pc/m3

    (3) การตรวจจับการรั่วไหลจะถูกวางไว้ในพอร์ตการสุ่มตัวอย่างที่ระยะ 2 ~ 3 ซม. จากพื้นผิวของตัวกรองที่ตรวจสอบด้วยความเร็ว 5 ~ 20 มม./วินาทีเพื่อเคลื่อนย้ายส่วนทั้งหมดของตัวกรองที่ถูกตรวจสอบกาวส่วนหัวและกรอบการติดตั้งและการติดตั้งเฟรมที่สแกน ในระหว่างกระบวนการสแกนชิ้นส่วนที่การนับเพิ่มขึ้นอย่างกะทันหันควรได้รับการตรวจสอบเฉพาะจุดและปรากฏการณ์การรั่วไหลเช่นการรั่วไหลควรได้รับการแก้ไขด้วยยางซิลิโคนหรือตัวกรองประสิทธิภาพสูงควรถูกแทนที่