クリーンルームのテスト方法とプロセス

クリーンルームのテストステータスは3つのカテゴリに分けることができます

1、クリーンルームの空の州の施設すべてのパイプラインが接続されていますが、生産機器、材料、生産担当者はありません。

2、静的は、生産機器に設置されたクリーンルームのすべての施設に建設され、所有者が遠くにテストする方法の所有者によって合意されましたが、現場には生産者はいません。

3、国家を運営する方法の規定と、規定された作業方法に存在する職員の規定に従って、動的施設。

クリーンルームテストプロセス

使用されるすべての機器と機器の決定を特定、調整、または調整する必要があります。測定の前に、システム、クリーンルーム、機械室などは、包括的なクリーニング、クリーニング、およびシステムの調整を一定期間継続的に実行する必要があり、その後、漏れ検出およびその他の測定項目が必要です。クリーンルームを測定する手順は次のとおりです。

ブロワーの空気吹き→屋内クリーニング→空気体積の調整→中間フィルターの設置→高効率フィルターの設置→システム動作→高効率フィルターの漏れ検出→空気体積の調整細菌のプランクトン細菌と沈殿した細菌の屋内決定→作業と調整に関連する生産装置。

テストベース

    仕様、図面、設計文書、および機器の技術データを含む。次の2つのカテゴリに分かれています。

    1、デザインクラスの設計文書、サポートドキュメントの設計変更と関連する契約、構築された図面。

    2、機器の技術情報。

テスト方法と結果の決定

    1-空気量または風速テスト

    （1）計装および環境測定機器

インペラーエンメーター、ホットボールアンメーター、バイトー、マイクロ圧力計、空気ボリュームフード。室温または設計温度での周囲温度。

    （2）テストのための設計要件を備えた領域のサンプリング。

    （3）空気容積と風速検出は、最初にエアコンを精製する必要があります。さまざまな効果は、空気量と風速条件の設計にありなければなりません。

    （1）測定された空気量の乱流クリーンルームシステムは、それぞれの設計空気量値よりも大きくなければなりませんが、20％を超えてはなりません。測定された新しい空気容積と新しい空気容積間の差の設計は、±10％の新しい空気体積の設計を超えてはなりません。各空気アウトレットの屋内空気容積とそれぞれの設計空気容積の差は、設計空気量の±15％を超えてはなりません。

    （2）測定された平均屋内空気速度を測定する一方向の層流クリーンルームは、設計空気速度よりも大きくなければなりませんが、20％を超えてはなりません。合計測定された新鮮な空気量と新しい空気容積の差の設計は、±10％の新しい空気体積の設計を超えてはなりません。

    2、屋内静的圧力差テスト

    （1）機器と機器、および環境測定機器、マイクロマナメメーター、デジタルマイクロマイナメーターなどを傾けます。室温または設計温度での周囲温度。

    （2）テストを実装するための設計要件を備えたさまざまな隣接領域のサンプリング。

    （3）技術的要件静的圧力差テスト結果は、以下の規定と一致する必要があります

    （1）さまざまなレベルの近隣のクリーンルームと、静的な圧力差の間の清潔な部屋と非きれいな部屋の間には、5Pa以下であってはなりません。

    2）クリーンルームと屋外の静的な圧力差は、10Paを超える必要があります。

    （3）0.6mの屋内側の入り口と出口にある開いたドア状態にある100レベルの一方向の流れ層流クリーンルームを、屋内レベルの濃度の上限を超えて測定すべきではありません。

    3、エアフィルターの漏れ

    （1）機器と環境測定器具ダスト粒子カウンター、エアロゾル発電機。室温または設計温度での周囲温度。

    （2）サイトメーカーに入る前の高効率フィルターボディのサンプリングは、パフォーマンステストを実行し、コンプライアンス証明書を提供する必要があります。一方向フロークリーンルームに設置された高効率エアフィルターは、1つずつ漏れをテストする必要があります。

    （3）操作プロセスとフィルターの漏れを決定することは、完成したエアフィルター漏れテストの設置が空の状態または静的なクリーンルームに適用されることです。ろ過のためのスキャン方法の適用の供給および排気エアエンド、境界の設置、およびリーク検出器法の完全な断面漏れスキャン法、および粒子カウンター法2の最小1L/minのサンプリング量の高効率フィルターの設置のため。ここで、粒子カウンター法が漏れ検出に使用されます。

    （1）検査されたフィルターは、動作の80％〜120％の設計空気速度の空気体積を測定している必要があります。

    （2）粒子カウンターは、高効率フィルターの漏れを確認するために使用されます。

    その風上側は、均一な濃度の大気塵または他のエアロゾル粉塵を導入する必要があります。 0.5μm以上のダスト粒子の濃度は、3.5×105pc/m3以上でなければなりません。または、0.1μm以上の粉塵粒子の濃度は、0.1μmのダスト粒子濃度以上が3.5×109pc/m3以上である場合、クラスDの高効率フィルターの検出が0.1μm以上の場合、3.5×107pc/m3以上でなければなりません。

    （3）リーク検出は、フィルターの表面から2〜3cmの距離5〜20mm/sの速度から2〜3cmの距離にあるサンプリングポートに配置され、検査されるフィルターのセクション全体を移動します。スキャンプロセス中に、カウントが突然増加する部品をスポットチェックし、漏れ現象を見つける必要があります。つまり、漏れにシリコンゴムでパッチを適用するか、高効率フィルターを交換する必要があります。