क्लीनरूम परीक्षण विधियाँ और प्रक्रियाएँ

स्वच्छ कमरे परीक्षण की स्थिति को तीन श्रेणियों में विभाजित किया जा सकता है

1, क्लीन रूम की खाली राज्य सुविधाएं सभी पाइपलाइनों से जुड़ी और चलती हैं लेकिन कोई उत्पादन उपकरण, सामग्री और उत्पादन कर्मी नहीं हैं।

2, स्टेटिक को उत्पादन उपकरणों में स्थापित क्लीन रूम की सभी सुविधाओं में बनाया गया है और आपूर्तिकर्ताओं ने दूर -दूर तक परीक्षण करने के रास्ते के मालिक द्वारा सहमति व्यक्त की है, लेकिन क्षेत्र में कोई उत्पादन कर्मी नहीं हैं।

3, राज्य को चलाने के तरीके के प्रावधानों और कार्य के निर्धारित तरीके से मौजूद कर्मियों के प्रावधानों के प्रावधानों के अनुसार गतिशील सुविधाएं।

क्लीनरूम परीक्षण प्रक्रिया

जहां उपयोग किए गए सभी उपकरणों और उपकरणों के निर्धारण को विनियमों के अनुसार पहचाना, कैलिब्रेट या कैलिब्रेट किया जाना चाहिए। माप से पहले, सिस्टम, क्लीन रूम, मशीन रूम, आदि एक व्यापक सफाई होनी चाहिए, सफाई और सिस्टम समायोजन को समय की अवधि के लिए लगातार चलाया जाना चाहिए, और फिर लीक का पता लगाने और माप के अन्य आइटम। स्वच्छ कमरे को मापने की प्रक्रिया इस प्रकार है।

ब्लोअर एयर ब्लोइंग → इनडोर क्लीनिंग → एयर वॉल्यूम का समायोजन → इंटरमीडिएट फ़िल्टर की स्थापना → उच्च दक्षता वाले फिल्टर की स्थापना → सिस्टम ऑपरेशन → उच्च दक्षता वाले फिल्टर का रिसाव का पता लगाना → हवा की मात्रा का समायोजन → इनडोर स्थैतिक दबाव का समायोजन → तापमान और आर्द्रता के सिंगल-पिसन का उत्पादन बैक्टीरियल प्लेंक्टोनिक बैक्टीरिया और बसे हुए बैक्टीरिया का इनडोर निर्धारण → काम और समायोजन से संबंधित उत्पादन उपकरण।

परीक्षण आधार

    विनिर्देशों, चित्र, डिजाइन दस्तावेजों और उपकरणों के तकनीकी डेटा सहित। निम्नलिखित दो श्रेणियों में विभाजित:

    1, डिजाइन क्लास डिज़ाइन दस्तावेज़, सहायक दस्तावेजों और प्रासंगिक समझौतों में डिजाइन परिवर्तन, जैसा कि निर्मित चित्र;

    2, उपकरण की तकनीकी जानकारी।

परीक्षण विधियाँ और परिणाम निर्धारण

    1 、 हवा की मात्रा या हवा की गति परीक्षण

    (1) इंस्ट्रूमेंटेशन और पर्यावरण माप उपकरण

प्ररित करनेवाला एनीमोमीटर, हॉट बॉल एनेमोमीटर, बिटो, माइक्रो-प्रेशर मीटर, एयर वॉल्यूम हूड। कमरे के तापमान या डिजाइन तापमान पर परिवेश का तापमान।

    (2) परीक्षण के लिए डिजाइन आवश्यकताओं वाले क्षेत्रों का नमूना।

    (3) वायु की मात्रा और हवा की गति का पता लगाने से पहले एयर कंडीशनिंग को शुद्ध किया जाना चाहिए, विभिन्न प्रभाव हवा की मात्रा और हवा की गति की स्थिति के डिजाइन में होने चाहिए।

    (1) मापा हवा की मात्रा मान का अशांत प्रवाह स्वच्छ कमरे प्रणाली संबंधित डिजाइन वायु मात्रा मूल्य से अधिक होनी चाहिए, लेकिन 20%से अधिक नहीं होना चाहिए। नई हवा की मात्रा को मापा जाता है और नई हवा की मात्रा के बीच अंतर का डिजाइन ± 10%के नए एयर वॉल्यूम के डिजाइन से अधिक नहीं होना चाहिए। प्रत्येक एयर आउटलेट की इनडोर एयर वॉल्यूम और उनके संबंधित डिजाइन एयर वॉल्यूम अंतर डिजाइन एयर वॉल्यूम के the 15% से अधिक नहीं होना चाहिए।

    (२) यूनिडायरेक्शनल लैमिनर फ्लो क्लीन रूम मापा गया औसत इनडोर हवा का वेग डिजाइन वायु वेग से अधिक होना चाहिए, लेकिन २०%से अधिक नहीं होना चाहिए। कुल मापा ताजा हवा की मात्रा और नए हवा की मात्रा के अंतर का डिजाइन ± 10%के नए एयर वॉल्यूम के डिजाइन से अधिक नहीं होना चाहिए।

    2, इनडोर स्थिर दबाव अंतर परीक्षण

    (1) उपकरण और उपकरण और पर्यावरण माप उपकरणों ने माइक्रोमैनोमीटर, डिजिटल माइक्रोमैनोमीटर, आदि को झुकाया। कमरे के तापमान या डिजाइन तापमान पर परिवेश का तापमान।

    (2) परीक्षण को लागू करने के लिए डिजाइन आवश्यकताओं के साथ विभिन्न आसन्न क्षेत्रों का नमूना।

    (3) तकनीकी आवश्यकताएं स्थिर दबाव अंतर परीक्षण के परिणाम निम्नलिखित प्रावधानों के अनुरूप होना चाहिए

    (1) विभिन्न स्तरों के पड़ोसी स्वच्छ कमरे और साफ कमरे और स्थिर दबाव अंतर के बीच गैर-क्लीन कमरों के बीच 5pa से कम नहीं होना चाहिए।

    2) स्वच्छ कमरा और आउटडोर स्थिर दबाव अंतर 10pa से अधिक होना चाहिए।

    (३) ०.६ मीटर के इनडोर पक्ष के प्रवेश द्वार पर खुले दरवाजे की स्थिति में यूनिडायरेक्शनल फ्लो लामिनर फ्लो क्लीन रूम के १०० स्तरों से अधिक स्वच्छता को इनडोर स्तर की एकाग्रता की ऊपरी सीमा से अधिक नहीं मापा जाना चाहिए।

    3 、 एयर फिल्टर का रिसाव

    (1) उपकरण और पर्यावरण माप उपकरण धूल कण काउंटर, एरोसोल जनरेटर। कमरे के तापमान या डिजाइन तापमान पर परिवेश का तापमान।

    (2) साइट निर्माता में प्रवेश करने से पहले उच्च दक्षता वाले फ़िल्टर बॉडी के नमूने को प्रदर्शन परीक्षण करने और अनुपालन के प्रमाण पत्र प्रदान करने के लिए आवश्यक होना चाहिए। यूनिडायरेक्शनल फ्लो क्लीन रूम में स्थापित उच्च-दक्षता वाले एयर फिल्टर को एक-एक करके रिसाव के लिए परीक्षण किया जाना चाहिए।

    (3) ऑपरेशन प्रक्रिया और फ़िल्टर का रिसाव का निर्धारण करना पूर्ण एयर फिल्टर रिसाव परीक्षण की स्थापना खाली राज्य या स्थैतिक साफ कमरे पर लागू होती है। निस्पंदन के लिए स्कैनिंग विधि के आवेदन की आपूर्ति और निकास हवा के छोर में स्थापित उच्च दक्षता वाले फिल्टर की स्थापना के लिए, सीमा की स्थापना और लीक डिटेक्टर विधि के पूर्ण क्रॉस-सेक्शन रिसाव स्कैनिंग विधि और कण काउंटर विधि के न्यूनतम 1L/मिनट की नमूना मात्रा। यहां कण काउंटर विधि का उपयोग रिसाव का पता लगाने के लिए किया जाता है।

    (1) निरीक्षण किए गए फ़िल्टर ने ऑपरेशन के 80% ~ 120% के बीच डिजाइन हवा की गति में हवा की मात्रा को मापा होगा।

    (2) कण काउंटर का उपयोग उच्च दक्षता वाले फिल्टर के रिसाव की जांच करने के लिए किया जाता है।

    इसके अपविड पक्ष को वायुमंडलीय धूल या अन्य एरोसोल धूल हवा की एक समान एकाग्रता के लिए पेश किया जाना चाहिए। 0.5μm से अधिक या बराबर धूल के कणों की एकाग्रता 3.5 × 105pc/m3 से अधिक या बराबर होनी चाहिए; या 0.1μm से अधिक या उससे अधिक धूल के कणों की एकाग्रता 3.5 × 107pc/m3 से अधिक या बराबर होनी चाहिए, यदि 0.1μm धूल कण एकाग्रता से अधिक या उससे अधिक या अधिक से अधिक वर्ग डी उच्च दक्षता वाले फिल्टर का पता लगाना 3.5 × 109pc/m3 से अधिक या उससे अधिक होना चाहिए।

    । स्कैनिंग प्रक्रिया के दौरान, जिन हिस्सों में गिनती अचानक बढ़ती है, वे स्पॉट-चेक किए जाने चाहिए और रिसाव की घटना पाई जाती है, यानी, रिसाव को सिलिकॉन रबर के साथ पैच किया जाना चाहिए या उच्च-दक्षता वाले फिल्टर को प्रतिस्थापित किया जाना चाहिए।