Стан тестування чистого приміщення можна розділити на три категорії
1, порожні державні споруди чистої кімнати всі трубопроводи, підключені та працюють, але немає виробничого обладнання, матеріалів та виробничого персоналу.
2, Статична була побудована у всіх об'єктах чистої кімнати, встановленої у виробничому обладнанні, і постачальники, погоджені власником шляху до перевірки дальнього повороту, але жодного виробничого персоналу в цій галузі.
3, динамічні засоби відповідно до положень способу виконання держави та положень персоналу, присутнього у встановленому способі роботи.
Процес тестування на чисту кімнату
Якщо визначення всіх інструментів та використовуваних обладнання повинно бути ідентифіковане, каліброване або каліброване відповідно до правил. Перед вимірюванням система, чистий кімната, машинна кімната тощо повинні бути всебічним очищенням, очищенням та регулюванням системи, необхідно постійно проводитися протягом певного періоду, а потім виявлення протікання та інші предмети вимірювання. Процедура вимірювання чистої кімнати така.
Blower air blowing → indoor cleaning → adjustment of air volume → installation of intermediate filters → installation of high-efficiency filters → system operation → leakage detection of high-efficiency filters → adjustment of air volume → adjustment of indoor static pressure difference → adjustment of temperature and humidity → single-phase flow of the clean room cross-section of the average speed, the speed of the uneven determination of indoor Чистота → Визначення в приміщенні бактеріальних планктонних бактерій та оселених бактерій → виробниче обладнання, пов'язане з роботою та коригуваннями.
Основа тестування
Включаючи технічні характеристики, креслення, дизайнерські документи та технічні дані обладнання. Розділений на наступні дві категорії:
1, дизайнерські документи класу дизайну, зміни дизайну в допоміжних документах та відповідних угодах, вбудовані креслення;
2, технічна інформація про обладнання.
Методи випробування та визначення результатів
1 、 Випробування об'єму повітря або швидкість вітру
(1) Інструментальні та екологічні вимірювальні інструменти
Анемометр крильчатки, анемометр гарячої кулі, біто, лічильник мікро-тиску, капот з обсягом повітря. Температура навколишнього середовища при кімнатній температурі або температурі проектування.
(2) Відбір проб ділянок з вимогами до проектування для тестування.
(3) Об'єм повітря та виявлення швидкості вітру спочатку повинні бути очищені кондиціонером, різні ефекти повинні бути в розробці об'єму повітря та отриманих умов швидкості вітру.
(1) Турбулентна система чистого приміщення вимірюваного значення об'єму повітря повинна бути більшою, ніж відповідне значення об'єму повітря, але не повинна перевищувати 20%. Вимірюється новий об'єм повітря та проект різниці між новим об'ємом повітря, не повинні перевищувати конструкцію нового об'єму повітря ± 10%. Об'єм повітря в приміщенні кожної торгової точки повітря та їх відповідна різниця об'єму повітря не повинна перевищувати ± 15% від обсягу повітряного повітря.
(2) Однонаправлений ламінарний потік чистий приміщення вимірювана середня швидкість повітря в приміщенні повинна бути більшою, ніж швидкість повітряного повітря, але не повинна перевищувати 20%. Загальний вимірюваний об'єм свіжого повітря та конструкція нової різниці об'єму повітря не повинні перевищувати конструкцію нового об'єму повітря ± 10%.
2, тест на різницю статичного тиску в приміщенні
(1) Інструменти та прилади обладнання та вимірювання навколишнього середовища Кольний мікроманометр, цифровий мікроманометр тощо. Температура навколишнього середовища при кімнатній температурі або температурі проектування.
(2) Відбір проб різних сусідніх областей з вимогами до проектування для реалізації тесту.
(3) Технічні вимоги Результати випробувань на різницю тиску повинні відповідати наступним положенням
(1) Між сусідніми чистими приміщеннями різного рівня та чистими приміщеннями та неклітинними приміщеннями між різницею статичного тиску не повинно бути менше 5PA.
2) Чиста кімната та різниця статичного тиску на відкритому повітрі повинна бути перевищувати 10PA.
(3) Чистота вище 100 рівнів однонаправленого потоку ламінарного потоку чистого приміщення у відкритому стані на вході та виходу з внутрішньої сторони 0,6 м не слід вимірювати більше, ніж верхня межа концентрації рівня в приміщенні.
3 、 Витік повітряного фільтра
(1) Інструменти та прилади вимірювання навколишнього середовища лічильник пилу, генератор аерозолю. Температура навколишнього середовища при кімнатній температурі або температурі проектування.
(2) Відбір проб високоефективного корпусу фільтра перед входом у виробника сайту повинен знадобитися для проведення тестів на продуктивність та надання сертифікатів щодо дотримання. Високоефективні повітряні фільтри, встановлені в однонаправленому чистому приміщенні потоку, повинні бути випробувані на витоки по одному.
(3) Процес роботи та визначте витік фільтра - це встановлення випробування на витоку виконаного повітряного фільтра, що застосовується до порожнього стану або статичного чистого приміщення. Для встановлення високоефективних фільтрів, встановлених у кінці подачі та витяжного повітря в кінці застосування методу сканування фільтрації, встановлення кордону та методу сканування витоку повного перерізу методу детектора витоку та об'ємом відбору проб мінімуму 1 л/хв методу зустрічного зустрічі частинки. Тут метод лічильника частинок використовується для виявлення витоку.
(1) Перевірений фільтр повинен виміряти об'єм повітря у швидкості проектного повітря між 80% ~ 120% від роботи.
(2) Лічильник частинок використовується для перевірки витоку фільтрів високої ефективності.
Його сторона вгору повинна бути введена в рівномірну концентрацію атмосферного пилу або іншого аерозольного пилового повітря. Концентрація пилових частинок більше або дорівнює 0,5 мкм, повинна бути більша або дорівнює 3,5 × 105pc/м3; або концентрація пилових частинок, що більше або дорівнює 0,1 мкм, повинна бути більша або дорівнює 3,5 × 107pc/м3, якщо виявлення фільтрів високої ефективності класу D більше або дорівнює 0,1 мкм концентрації пилових частинок, що більше або дорівнює 3,5 × 109pc/м3.
(3) Виявлення витоку буде розміщено в порту відбору проб на відстані 2 ~ 3 см від поверхні фільтра, який перевіряється зі швидкістю 5 ~ 20 мм/с, щоб переміщувати всю секцію, що перевіряється фільтром, клей за заголовком та встановленням родування та встановлення кадру при скануванні. Під час процесу сканування частини, де раптово збільшується кількість, слід перевірити плями та знайдено явища витоку, тобто, витік слід виправити силіконовою гумою або фільтром високої ефективності.
