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Reinraum -Testmethoden und -prozesse

Ansichten: 55     Autor: Site Editor Veröffentlichung Zeit: 2023-08-03 Herkunft: Website

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Der Status des sauberen Raumtests kann in drei Kategorien unterteilt werden

1, leere staatliche Einrichtungen des sauberen Raums Alle angeschlossenen und laufenden Pipelines, aber keine Produktionsausrüstung, Materialien und Produktionspersonal.

2, static wurde in allen Einrichtungen des in der Produktionsausrüstung und den Lieferanten installierten sauberen Raums eingebaut, der vom Eigentümer des Weges zum Testen von weit geprüft wurde, aber kein Produktionspersonal auf dem Gebiet.

3, dynamische Einrichtungen gemäß den Bestimmungen des Weges zur Führung des Staates und der Bestimmungen des anwesenden Personals in der vorgeschriebenen Art von Arbeit.


Reinraum -Testprozess

Wenn die Bestimmung aller verwendeten Instrumente und Geräte gemäß den Vorschriften identifiziert, kalibriert oder kalibriert werden muss. Vor der Messung müssen das System, der saubere Raum, der Maschinenraum usw. eine umfassende Reinigung, Reinigung und Systemanpassung sein, die für einen bestimmten Zeitraum kontinuierlich ausgeführt werden müssen, und dann die Erkennung von Leckern und andere Messelemente. Das Verfahren zur Messung des sauberen Raums ist wie folgt.

Blower air blowing → indoor cleaning → adjustment of air volume → installation of intermediate filters → installation of high-efficiency filters → system operation → leakage detection of high-efficiency filters → adjustment of air volume → adjustment of indoor static pressure difference → adjustment of temperature and humidity → single-phase flow of the clean room cross-section of the average speed, the speed of the uneven determination of indoor cleanliness → Innenbestimmung von bakteriellen planktonischen Bakterien und abgesetzten Bakterien → Produktionsausrüstung im Zusammenhang mit der Arbeit und Anpassungen.


Testbasis

    Einschließlich Spezifikationen, Zeichnungen, Entwurfsdokumente und technischen Ausrüstungsdaten. Unterteilt in die folgenden zwei Kategorien:

    1, Entwurfsklassen Entwurfsdokumente, Entwurfsänderungen in den unterstützenden Dokumenten und relevanten Vereinbarungen, nachgebauten Zeichnungen;

    2, Die technischen Informationen der Ausrüstung.


Testmethoden und Ergebnisbestimmung

    1 、 Luftvolumen oder Windgeschwindigkeitstest

    (1) Instrumentations- und Umweltmessinstrumente

Laufradanemometer, Heißkugelanemometer, Bitou, Mikropressmesser, Luftvolumenhaube. Umgebungstemperatur bei Raumtemperatur oder Konstruktionstemperatur.

    (2) Abtastung von Bereichen mit Entwurfsanforderungen für die Tests.

    (3) Luftvolumen und Windgeschwindigkeitserkennung müssen zunächst gereinigte Klimaanlage sein. Die verschiedenen Effekte müssen bei der Auslegung des erhaltenen Luftvolumens und der gewonnenen Windgeschwindigkeitsbedingungen erfolgen.

    (1) Turbulentes Durchflussreinraumsystem des gemessenen Luftvolumenswerts sollte größer sein als der jeweilige Entwurfsluftvolumenwert, sollte jedoch 20%nicht überschreiten. Das gemessene neue Luftvolumen und das Design der Differenz zwischen dem neuen Luftvolumen sollten das Design des neuen Luftvolumens von ± 10%nicht überschreiten. Innernluftvolumen jedes Luftauslasss und deren jeweilige Differenzierung des Luftvolumens sollte ± 15% des Luftluftvolumens nicht überschreiten.

    . Das Gesamtmessung des frischen Luftvolumens und das Design der neuen Luftvolumendifferenz sollte das Design des neuen Luftvolumens von ± 10%nicht überschreiten.

    2, Testdifferenzentest in Innenräumen

    (1) Instrumente und Geräte sowie Umweltmessungsinstrumente geneigtes Mikromanometer, digitales Mikromanometer usw. Umgebungstemperatur bei Raumtemperatur oder Konstruktionstemperatur.

    (2) Abtastung verschiedener benachbarter Bereiche mit Entwurfsanforderungen zur Durchführung des Tests.

    (3) Die technischen Anforderungen statischer Druckdifferenzentestergebnisse sollten mit den folgenden Bestimmungen übereinstimmen

    (1) Zwischen den benachbarten sauberen Räumen unterschiedlicher Ebenen und sauberen Räumen und nicht-Clean-Räumen zwischen der statischen Druckdifferenz sollte nicht weniger als 5 Pa betragen.

    2) Reinraum und statische Druckdifferenz im Freien sollten größer als 10 Pa sein.

    .

    3 、 Leckage des Luftfilters

    (1) Instrumente und Umweltmessungsinstrumente Staubpartikelzähler, Aerosolgenerator. Umgebungstemperatur bei Raumtemperatur oder Konstruktionstemperatur.

    . Die hocheffizienten Luftfilter, die im unidirektionalen Strömungsreinraum installiert sind, sollten nacheinander auf Leckage getestet werden.

    (3) Der Betriebsprozess und die Ermittlung der Leckage des Filters ist die Installation des abgeschlossenen Luftfilter -Leckage -Tests für den leeren Zustand oder den statischen sauberen Raum. Für die Installation von hocheffizienten Filtern, die im Versorgungs- und Abgabeluftende der Anwendung der Scan-Methode für die Filtration installiert sind, die Installation des Randes und die vollständige Querschnitts-Leckage-Scan-Methode der Leckdetektormethode und das Abtastvolumen von einem Minimum von 1 l/min der Partikelzählermethode zwei. Hier wird die Partikelzählermethode zur Leckageerkennung verwendet.

    (1) Der inspizierte Filter muss das Luftvolumen in der Luftgeschwindigkeit zwischen 80% ~ 120% des Betriebs gemessen haben.

    (2) Der Partikelzähler wird verwendet, um die Leckage hocheffizienter Filter zu überprüfen.

    Die Aufweißseite sollte in eine gleichmäßige Konzentration von atmosphärischem Staub oder anderen Aerosolstaubluft eingeführt werden. Die Konzentration von Staubpartikeln größer oder gleich 0,5 μm sollte größer oder gleich 3,5 × 105 pc/m3 sein; oder die Konzentration von Staubpartikeln größer oder gleich 0,1 μm sollte größer oder gleich 3,5 × 107pc/m3 sein, wenn der Nachweis der hohen Effizienzfilter der Klasse D größer oder gleich 0,1 & mgr; m Staubpartikelkonzentration größer oder gleich 3,5 × 109pc/m 3 sein sollte.

    . Während des Scanprozesses sollte die Teile, in denen die Anzahl plötzlich zunimmt, geprüft werden und das Leckagephänomen gefunden wird, dh die Leckage sollte mit Silikonkautschuk gepatcht werden oder der hohe Effizienzfilter ersetzt werden.



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