Status testiranja čiste sobe lahko razdelite v tri kategorije
1, Prazni državni objekti čiste sobe so vsi cevovodi povezani in delujoči, vendar brez proizvodne opreme, materialov in proizvodnega osebja.
2, statika je bila zgrajena v vseh objektih čiste sobe, nameščene v proizvodni opremi, in dobaviteljev, ki jih je dogovoril lastnik poti za preizkušanje daleč, vendar ni nobenega proizvodnega osebja na terenu.
3, Dinamične zmogljivosti v skladu z določbami načina vodenja države in določbami osebja, ki so prisotne na predpisani način dela.
Postopek testiranja čistega prostora
Kadar je treba določiti vse uporabljene instrumente in opremo, je treba prepoznati, umeriti ali umeriti v skladu s predpisi. Pred merjenjem mora biti sistem, čista soba, strojna soba itd. Celovito čiščenje, čiščenje in nastavitev sistema za nekaj časa izvajati neprekinjeno, nato pa odkrivanje puščanja in druge merilne predmete. Postopek za merjenje čiste sobe je naslednji.
Blower air blowing → indoor cleaning → adjustment of air volume → installation of intermediate filters → installation of high-efficiency filters → system operation → leakage detection of high-efficiency filters → adjustment of air volume → adjustment of indoor static pressure difference → adjustment of temperature and humidity → single-phase flow of the clean room cross-section of the average speed, the speed of the uneven determination of Notranja čistoča → Notranja določitev bakterijskih planktonskih bakterij in ustaljene bakterije → proizvodna oprema, povezana z delom in prilagoditvami.
Osnova testiranja
Vključno s specifikacijami, risbami, oblikovalskimi dokumenti in tehničnimi podatki opreme. Razdeljeno na naslednja dve kategoriji:
1, oblikovalski oblikovalski dokumenti, oblikovalske spremembe podpornih dokumentov in ustreznih sporazumov, izdelanih risb;
2, tehnične informacije opreme.
Preskusne metode in določitev rezultatov
1 、 Preskus volumna ali hitrosti vetra
(1) Instrumenti instrumentov za instrumente in okolje
Anemometer rotorja, anemometer vroče kroglice, Bitou, merilnik mikro tlaka, kapuca za volumen zraka. Temperatura okolice pri sobni temperaturi ali temperaturi oblikovanja.
(2) Vzorčenje območij z oblikovalskimi zahtevami za testiranje.
(3) Zaznavanje volumna zraka in hitrosti vetra je treba najprej očistiti klimatsko napravo, različni učinki morajo biti pri oblikovanju volumna zraka in hitrosti vetra.
(1) Turbulentni pretok čisti sobni sistem izmerjene vrednosti volumna zraka mora biti večji od ustrezne vrednosti volumna zraka, vendar ne sme presegati 20%. Izmerjena nova volumen zraka in zasnova razlike med novim volumnom zraka ne smeta presegati zasnove novega zračnega volumna ± 10%. Notranji zračni volumen vsake zračne vtičnice in njihova oblikovalna razlika v volumnu zraka ne sme presegati ± 15% oblikovalske volumne zraka.
(2) Enosmerna laminarna pretočna čista soba, izmerjena povprečna hitrost zraka v zaprtih prostorih, mora biti večja od hitrosti oblikovanja zraka, vendar ne sme presegati 20%. Skupna izmerjena volumen svežega zraka in zasnova nove razlike v volumnu zraka ne smeta presegati zasnove novega zračnega volumna ± 10%.
2, test razlike v statičnem tlaku v zaprtih prostorih
(1) Instrumenti in oprema in okoljski merilni instrumenti, nagnjeni mikromanometer, digitalni mikromanometer itd. Temperatura okolice pri sobni temperaturi ali temperaturi oblikovanja.
(2) Vzorčenje različnih sosednjih območij z oblikovalskimi zahtevami za izvajanje testa.
(3) Tehnične zahteve Rezultati preskusa statične tlake morajo biti skladni z naslednjimi določbami
(1) Med sosednjimi čistimi sobami različnih nivojev in čistimi sobami ter ne čistimi prostori med statično razliko tlaka ne smejo biti manjši od 5Pa.
2) Razlika v čisti sobi in zunanji statični tlak mora biti večja od 10Pa.
(3) Čistost, višja od 100 ravni enosmernega pretoka Laminarnega pretoka čista soba v odprtem stanju na vhodu in izstopu v notranji strani 0,6 milijona, ne smete meriti več kot zgornja meja koncentracije notranjega nivoja.
3 、 puščanje zračnega filtra
(1) Instrumenti in okoljski merilni instrumenti števca prašnih delcev, aerosolni generator. Temperatura okolice pri sobni temperaturi ali temperaturi oblikovanja.
(2) Vzorčenje telesa filtrov z visoko učinkovitostjo pred vstopom na spletna mesta mora biti potrebno za izvajanje preizkusov uspešnosti in zagotovitev potrdil o skladnosti. Zračni filtri z visoko učinkovitostjo, nameščeni v čisti sobi enosmernega toka, je treba preizkusiti za puščanje enega za drugim.
(3) Postopek delovanja in določitev uhajanja filtra je namestitev dokončanega testa za puščanje zračnega filtra, ki velja za prazno stanje ali statično čisto sobo. Za namestitev filtrov z visoko učinkovitostjo, nameščenimi na koncu napajanja in izpušnega zraka, uporabe metode skeniranja za filtracijo, namestitve meje in celotnega metode skeniranja prereza metode detektorja puščanja in volumnu vzorčenja najmanj 1L/min metode števca delcev delcev. Tu se metoda števca delcev uporablja za odkrivanje puščanja.
(1) Pregledovani filter mora izmeriti volumen zraka v obliki hitrosti zraka med 80% ~ 120% operacije.
(2) Števec delcev se uporablja za preverjanje uhajanja filtrov z visoko učinkovitostjo.
Njegova stran na vetrov je treba uvesti z enakomerno koncentracijo atmosferskega prahu ali drugega aerosolnega prahu. Koncentracija prašnih delcev, večjih ali enakih 0,5 μm, mora biti večja od ali enaka 3,5 × 105pc/m3; Ali pa mora biti koncentracija prašnih delcev, večja od 0,1 μm, večja od ali enaka 3,5 × 107pc/m3, če mora biti odkrivanje filtrov z visoko učinkovitostjo razreda D večje ali enaka 0,1 μm koncentracije prašnih delcev večja ali enaka 3,5 × 109pc/m3.
(3) Zaznavanje puščanja bo nameščeno v vzorčnem pristanišču na razdalji 2 ~ 3 cm od površine filtra, ki se pregleda s hitrostjo 5 ~ 20 mm/s, da premaknete celoten del filtra, ki se pregleda, glava lepila in namestitveni okvir in namestitev okvirja pri skeniranju. Med postopkom skeniranja je treba dele, kjer se število nenadoma poveča, preveriti in najti pojav puščanja, tj. Puščanje je treba zakrpati s silikonsko gumo ali pa je treba zamenjati filter z visoko učinkovitostjo.
