Lo stato di test della stanza pulita può essere diviso in tre categorie
1, strutture a stato vuoto della sala pulita Tutte le condutture collegate e in esecuzione ma nessuna attrezzatura di produzione, materiali e personale di produzione.
2, Static è stato costruito in tutte le strutture della stanza pulita installata nelle attrezzature di produzione e sui fornitori concordati dal proprietario del modo per testare il turno lontano, ma nessun personale di produzione sul campo.
3, Strutture dinamiche in conformità con le disposizioni del modo per gestire lo stato e le disposizioni del personale presenti nel modo prescritto di lavoro.
Processo di test della camera pulita
Laddove la determinazione di tutti gli strumenti e le attrezzature utilizzati deve essere identificata, calibrata o calibrata secondo i regolamenti. Prima della misurazione, il sistema, la stanza pulita, la sala macchine, ecc. Deve essere una pulizia completa, una pulizia e una regolazione del sistema devono essere eseguiti continuamente per un periodo di tempo, quindi il rilevamento delle perdite e altri elementi di misurazione. La procedura per misurare la stanza pulita è la seguente.
Soffiatura dell'aria soffiante → pulizia interna → regolazione del volume dell'aria → installazione di filtri intermedi → installazione di filtri ad alta efficienza → Funzionamento del sistema → Rilevamento di perdite di filtri ad alta efficienza → Regolazione del volume dell'aria → Regolazione della differenza di pressione statica interno → Regolazione della temperatura di INDOORE → Determinazione interna di batteri planctonici batterici e batteri stabiliti → Equipaggiamento di produzione relativo al lavoro e alle regolazioni.
Base di test
Compresi specifiche, disegni, documenti di progettazione e dati tecnici delle apparecchiature. Diviso nelle seguenti due categorie:
1, Design Class Documenti di progettazione, modifiche di progettazione nei documenti di supporto e accordi pertinenti, disegni a base;
2, le informazioni tecniche dell'attrezzatura.
Metodi di prova e determinazione dei risultati
1 、 Volume dell'aria o Test di velocità del vento
(1) Strumentazione di strumentazione e misurazione ambientale
Anemometro della girante, anemometro a sfera calda, Bitou, misuratore di micro-pressione, cappa del volume dell'aria. Temperatura ambiente a temperatura ambiente o temperatura di progettazione.
(2) Campionamento di aree con requisiti di progettazione per i test.
(3) Il volume dell'aria e il rilevamento della velocità del vento devono prima essere aria condizionata purificata, i vari effetti devono essere nella progettazione del volume dell'aria e delle condizioni di velocità del vento ottenute.
(1) Il sistema turbolento della stanza pulita del flusso del valore del volume dell'aria misurato dovrebbe essere maggiore del rispettivo valore del volume dell'aria di progettazione, ma non dovrebbe superare il 20%. Il nuovo volume dell'aria misurato e la progettazione della differenza tra il nuovo volume dell'aria non devono superare la progettazione del nuovo volume d'aria di ± 10%. Il volume dell'aria interna di ciascuna presa d'aria e la rispettiva differenza del volume dell'aria di progettazione non devono superare ± 15% del volume dell'aria di progettazione.
(2) La camera d'aria interno misurata a flusso laminare unidirezionale deve essere maggiore della velocità dell'aria di progettazione, ma non dovrebbe superare il 20%. Il volume totale di aria fresca misurata e la progettazione della nuova differenza del volume d'aria non devono superare la progettazione del nuovo volume d'aria di ± 10%.
2, test di differenza di pressione statica interna
(1) Strumenti e attrezzature e strumenti ambientali Micromanometro incline, micromanometro digitale, ecc. Temperatura ambiente a temperatura ambiente o temperatura di progettazione.
(2) Campionamento di varie aree adiacenti con requisiti di progettazione per implementare il test.
(3) Requisiti tecnici I risultati della differenza di pressione statica dovrebbero essere coerenti con le seguenti disposizioni
(1) tra stanze pulite vicine di diversi livelli e camere pulite e stanze non pulite tra la differenza di pressione statica non dovrebbero essere inferiori a 5Pa.
2) La differenza di pressione statica pulita e esterna dovrebbe essere maggiore di 10pa.
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3 、 Perdita di filtro dell'aria
(1) Strumenti e strumenti ambientali Strumenti di particelle di polvere, generatore di aerosol. Temperatura ambiente a temperatura ambiente o temperatura di progettazione.
(2) Il campionamento dell'organo di filtro ad alta efficienza prima di entrare nel produttore del sito dovrebbe essere tenuto a eseguire test di prestazioni e fornire certificati di conformità. I filtri d'aria ad alta efficienza installati nella stanza di pulizia di flusso unidirezionale devono essere testati per una perdita uno per uno.
(3) Il processo operativo e determinare la perdita del filtro è l'installazione del test di perdita del filtro dell'aria completato si applica allo stato vuoto o alla stanza pulita statica. Per l'installazione di filtri ad alta efficienza installati nell'estremità dell'aria di alimentazione e di scarico dell'applicazione del metodo di scansione per la filtrazione, l'installazione del bordo e il metodo di scansione di perdita di sezione trasversale completa del metodo del rivelatore di perdite e il volume di campionamento di un minimo di 1L/min del metodo del contatore delle particelle. Qui il metodo del contatore delle particelle viene utilizzato per il rilevamento delle perdite.
(1) Il filtro ispezionato deve aver misurato il volume dell'aria nella velocità dell'aria di progettazione tra l'80% ~ 120% dell'operazione.
(2) Il contatore delle particelle viene utilizzato per verificare la perdita di filtri ad alta efficienza.
Il suo lato sopravento dovrebbe essere introdotto a una concentrazione uniforme di polvere atmosferica o altra aria della polvere di aerosol. La concentrazione di particelle di polvere maggiore o uguale a 0,5 μm dovrebbe essere maggiore o uguale a 3,5 × 105pc/m3; o la concentrazione di particelle di polvere maggiore o uguale a 0,1 μm dovrebbe essere maggiore o uguale a 3,5 × 107pc/m3 se il rilevamento di filtri ad alta efficienza di classe D maggiore o uguale a 0,1μM la concentrazione di particelle di polvere dovrebbe essere maggiore o uguale a 3,5 × 109pc/m3.
(3) Il rilevamento delle perdite verrà posizionato nella porta di campionamento ad una distanza di 2 ~ 3 cm dalla superficie del filtro che viene ispezionato ad una velocità di 5 ~ 20 mm/s per spostare l'intera sezione del filtro in ispezione, la colla di intestazione e il telaio dello stampo di installazione e l'installazione del telaio alla scansione. Durante il processo di scansione, le parti in cui il conteggio aumenta improvvisamente dovrebbe essere controllato e si trova il fenomeno di perdita, cioè la perdita deve essere patchati con gomma siliconica o il filtro ad alta efficienza deve essere sostituito.
