Clean Room Testing Status kan worden onderverdeeld in drie categorieën
1, lege staatsfaciliteiten van de Clean Room Alle pijpleidingen verbonden en actief, maar geen productieapparatuur, materialen en productiepersoneel.
2, Static is gebouwd in alle faciliteiten van de Clean Room die is geïnstalleerd in de productieapparatuur en leveranciers die zijn overeengekomen door de eigenaar van de weg om verre bocht te testen, maar geen productiepersoneel in het veld.
3, Dynamische faciliteiten in overeenstemming met de bepalingen van de manier om de staat te runnen en de bepalingen van het personeel dat aanwezig is op de voorgeschreven manier van werk.
Cleanroom -testproces
Waar de bepaling van alle gebruikte instrumenten en apparatuur moet worden geïdentificeerd, gekalibreerd of gekalibreerd volgens de voorschriften. Vóór de meting moeten het systeem, de schone kamer, de machinekamer, enz. Een uitgebreide reiniging, reiniging en systeemaanpassing zijn, moeten gedurende een periode van tijd continu worden uitgevoerd en vervolgens detectie en andere meetitems lekken. De procedure voor het meten van de schone kamer is als volgt.
Blower Luchtblaas → Afdoorreiniging indoor → Aanpassing van het luchtvolume → Installatie van tussenliggende filters → Installatie van zeer efficiënte filters → Systeembewerking → Lekkage detectie van hoog-efficiëntie filters → aanpassing van de luchtvolume van de gemiddelde snelheid van de gemiddelde snelheid van de gemiddelde snelheid. Reinheid → Bepaling binnenshuis van bacteriële planktonische bacteriën en gevestigde bacteriën → Productieapparatuur gerelateerd aan het werk en de aanpassingen.
Testbasis
Inclusief specificaties, tekeningen, ontwerpdocumenten en technische gegevens van apparatuur. Verdeeld in de volgende twee categorieën:
1, Design Class Design-documenten, ontwerpwijzigingen in de ondersteunende documenten en relevante overeenkomsten, opgebouwde tekeningen;
2, de technische informatie van de apparatuur.
Testmethoden en resultaatbepaling
1 、 Luchtvolume of windsnelheidstest
(1) instrumentatie- en omgevingsinstrumenten
Inwieranemometer, hot ball anemometer, bitou, micro-drukmeter, luchtvolumekap. Omgevingstemperatuur bij kamertemperatuur of ontwerptemperatuur.
(2) Bemonstering van gebieden met ontwerpvereisten voor testen.
(3) Luchtvolume en windsnelheid detectie moeten eerst worden gezuiverd, de verschillende effecten moeten zijn in het ontwerp van het verkregen luchtvolume en windsnelheid.
(1) Turbulente stroming Clean Room System van gemeten luchtvolumewaarde moet groter zijn dan de respectieve ontwerp van de ontwerpluchtvolume, maar mag niet hoger zijn dan 20%. Gemeten nieuw luchtvolume en het ontwerp van het verschil tussen het nieuwe luchtvolume mogen het ontwerp van het nieuwe luchtvolume van ± 10%niet overschrijden. Binnenluchtvolume van elke luchtuitgang en hun respectieve ontwerpluchtvolumeverschil mogen ± 15% van het ontwerpluchtvolume niet overschrijden.
(2) Unidirectionele laminaire stroming Cleankamer gemeten gemiddelde binnenluchtsnelheid moet groter zijn dan de ontwerpluchtsnelheid, maar mag niet hoger zijn dan 20%. Het totale gemeten verse luchtvolume en het ontwerp van het nieuwe luchtvolumeverschil mogen het ontwerp van het nieuwe luchtvolume van ± 10%niet overschrijden.
2, indoor statische drukverschiltest
(1) Instrumenten en apparatuur en omgevingsinstrumenten hellende micromanometer, digitale micromanometer, enz. Sfeertemperatuur bij kamertemperatuur of ontwerptemperatuur.
(2) Bemonstering van verschillende aangrenzende gebieden met ontwerpvereisten om de test te implementeren.
(3) Technische vereisten Statische drukverschil Testresultaten moeten consistent zijn met de volgende bepalingen
(1) Tussen aangrenzende schone kamers van verschillende niveaus en schone kamers en niet-reeks kamers tussen het statische drukverschil mag niet minder zijn dan 5Pa.
2) Schone kamer en buitenstatische drukverschil moeten groter zijn dan 10Pa.
(3) Reinheid hoger dan 100 niveaus van unidirectionele stroom laminaire stroming Clean kamer in de open deurstatus bij de ingang en uitgang van de binnenkant van de 0,6 m mag niet meer worden gemeten dan de bovengrens van de concentratie van binnenniveau.
3 、 Lekkage van luchtfilter
(1) instrumenten en omgevingsmeting instrumenten stofdeeltjescounter, aerosolgenerator. Omgevingstemperatuur bij kamertemperatuur of ontwerptemperatuur.
(2) Bemonstering van de hoogwaardige filterlichaam voordat het betreden van de fabrikant van de site moet worden verplicht om prestatietests uit te voeren en certificaten van naleving te verstrekken. De zeer efficiënte luchtfilters die in de unidirectionele stroming zijn geïnstalleerd, moeten een voor een worden getest op lekkage.
(3) Het werkingsproces en het bepalen van de lekkage van het filter is de installatie van de voltooide luchtfilterlekkage -test is van toepassing op de lege toestand of statische schone kamer. Voor de installatie van zeer efficiënte filters die zijn geïnstalleerd in het aanbod- en uitlaatluchtuiteinde van de toepassing van de scanmethode voor filtratie, de installatie van de rand en de volledige lekkagescanmethode van de lekkage van de lekdetectormethode en het bemonsteringsvolume van een minimum van 1 l/min van de deeltjescountermethode twee. Hier wordt de deeltjescountermethode gebruikt voor lekdetectie.
(1) Het geïnspecteerde filter moet het luchtvolume hebben gemeten in de ontwerpluchtsnelheid tussen 80% ~ 120% van de werking.
(2) De deeltjesbalie wordt gebruikt om de lekkage van zeer efficiënte filters te controleren.
De tegenwindzijde moet worden geïntroduceerd in een uniforme concentratie van atmosferisch stof of andere aerosolstoflucht. De concentratie van stofdeeltjes groter dan of gelijk aan 0,5 uM moet groter zijn dan of gelijk zijn aan 3,5 x 105 pc/m3; of de concentratie van stofdeeltjes groter dan of gelijk aan 0,1 μM moet groter zijn dan of gelijk zijn aan 3,5 x 107 pc/m3 als de detectie van klasse D hoog-efficiënte filters groter dan of gelijk aan 0,1 μM stofdeeltjesconcentratie van 0,1 μM moet zijn dan of gelijk zijn aan 3,5 x 109pc/m3.
(3) Lekdetectie wordt in de bemonsteringspoort geplaatst op een afstand van 2 ~ 3 cm van het oppervlak van het filter dat wordt geïnspecteerd met een snelheid van 5 ~ 20 mm/s om het gehele gedeelte van het geïnspecteerd filter te verplaatsen, koplijm en installatievormframe en installatie van het frame bij de scanning. Tijdens het scanproces moeten de onderdelen waar de telling plotseling toeneemt, worden gecontroleerd en wordt het lekfenomeen gevonden, dwz de lekkage moet worden gepatcht met siliconenrubber of het zeer efficiënte filter moet worden vervangen.
