Status för ren rumstest kan delas in i tre kategorier
1, Tomma statliga anläggningar i det rena rummet Alla rörledningar anslutna och körning men ingen produktionsutrustning, material och produktionspersonal.
2, Static har byggts i alla faciliteter i det rena rummet installerat i produktionsutrustningen och leverantörer som ägaren av ägaren av vägen för att testa långt, men ingen produktionspersonal i fältet.
3, dynamiska anläggningar i enlighet med bestämmelserna i vägen för att driva staten och bestämmelserna i den personal som finns på det föreskrivna sättet att arbeta.
Renrumstestningsprocess
Om bestämningen av alla instrument och utrustning som används måste identifieras, kalibreras eller kalibreras enligt föreskrifter. Innan mätningen måste systemet, ren rum, maskinrum etc. vara en omfattande rengöring, rengöring och systemjustering måste köras kontinuerligt under en tidsperiod och sedan läckedetektering och andra mätartiklar. Förfarandet för att mäta det rena rummet är som följer.
Blower air blowing → indoor cleaning → adjustment of air volume → installation of intermediate filters → installation of high-efficiency filters → system operation → leakage detection of high-efficiency filters → adjustment of air volume → adjustment of indoor static pressure difference → adjustment of temperature and humidity → single-phase flow of the clean room cross-section of the average speed, the speed of the uneven determination of indoor cleanliness → Inomhusbestämning av bakterieplanktoniska bakterier och sedimenterade bakterier → Produktionsutrustning relaterad till arbetet och justeringar.
Testbas
Inklusive specifikationer, ritningar, designdokument och tekniska data för utrustning. Delad i följande två kategorier:
1, designklassdesigndokument, designändringar i stöddokumenten och relevanta avtal, som byggda ritningar;
2, den tekniska informationen för utrustningen.
Testmetoder och resultatbestämning
1 、 Luftvolym eller vindhastighetstest
(1) Instrumentation och miljömätningsinstrument
Impeller Anemometer, Hot Ball Anemometer, Bitou, Micro-tryckmätare, luftvolymhuv. Omgivningstemperatur vid rumstemperatur eller konstruktionstemperatur.
(2) Provtagning av områden med designkrav för testning.
(3) Luftvolym och vindhastighetsdetektering måste först renas luftkonditionering, de olika effekterna måste vara i utformningen av luftvolymen och vindhastighetsförhållandena erhållna.
(1) Turbulent Flow Clean Room System med uppmätt luftvolymvärde bör vara större än respektive design av luftvolymvärde, men bör inte överstiga 20%. Uppmätt ny luftvolym och utformningen av skillnaden mellan den nya luftvolymen bör inte överstiga utformningen av den nya luftvolymen på ± 10%. Inomhusluftvolym för varje luftuttag och deras respektive design av luftvolym bör inte överstiga ± 15% av designluftvolymen.
(2) enkelriktad laminär flödesrengöring mätt genomsnittlig lufthastighet inomhus bör vara större än designluftshastigheten, men bör inte överstiga 20%. Den totala uppmätta friska luftvolymen och utformningen av den nya luftvolymskillnaden bör inte överstiga utformningen av den nya luftvolymen på ± 10%.
2, inomhus statisk tryckskillnadstest
(1) Instrument och utrustning och miljömätningsinstrument lutande mikromanometer, digital mikromanometer osv. Omgivningstemperatur vid rumstemperatur eller designtemperatur.
(2) Provtagning av olika angränsande områden med konstruktionskrav för att implementera testet.
(3) Tekniska krav Statiska tryckskillnad Testresultat bör vara förenliga med följande bestämmelser
(1) Mellan angränsande rena rum i olika nivåer och rena rum och icke-rena rum mellan den statiska tryckskillnaden bör inte vara mindre än 5PA.
2) Skillnaden för ren rum och utomhustryck bör vara större än 10PA.
(3) Renlighet högre än 100 nivåer av enkelriktad flödesflödesflödesrum i det öppna dörrtillståndet vid ingången och utgången av inomhussidan av 0,6 m bör inte mätas mer än den övre gränsen för koncentrationen av inomhusnivån.
3 、 Läckage av luftfilter
(1) Instrument och miljömätinstrument Dammpartikelräknare, aerosolgenerator. Omgivningstemperatur vid rumstemperatur eller konstruktionstemperatur.
(2) Provtagning av högeffektivt filterkropp innan du går in i webbplatsen bör krävas för att utföra prestandatester och tillhandahålla certifikat för efterlevnad. De högeffektiva luftfilter som är installerade i det enkelriktade flödesrummet bör testas för läckage en efter en.
(3) Driftsprocessen och bestämmer filtrets läckage är installationen av det färdiga luftfilterläcktestet gäller det tomma tillståndet eller statiska rena rummet. För installation av högeffektiva filter installerade i tillförsel- och avluftänden av appliceringen av skanningsmetoden för filtrering, installationen av gränsen och den fullständiga tvärsnittsläckningsskanningsmetoden för läckdetektormetoden och provtagningsvolymen för ett minimum av 1L/min av partikelbänkmetoden två. Här används partikelbänkmetoden för läckagedetektering.
(1) Det inspekterade filtret måste ha mätt luftvolymen i designluftshastigheten mellan 80% ~ 120% av operationen.
(2) Partikelräknare används för att kontrollera läckaget med högeffektiva filter.
Dess motvind sida bör introduceras till en enhetlig koncentration av atmosfärisk damm eller annan aerosoldammluft. Koncentrationen av dammpartiklar större än eller lika med 0,5 um bör vara större än eller lika med 3,5 × 105 st/m3; eller koncentrationen av dammpartiklar större än eller lika med 0,1 um bör vara större än eller lika med 3,5 × 107 st/m3 om detekteringen av klass D högeffektivitetsfilter större än eller lika med 0,1 um dammpartikelkoncentration bör vara större än eller lika med 3,5 × 109 pc/m3.
(3) Läckedetektering kommer att placeras i provtagningsporten på ett avstånd av 2 ~ 3 cm från ytan på filtret som inspekteras med en hastighet av 5 ~ 20 mm/s för att flytta hela sektionen av filtret som inspekteras, huvudlim och installationsformram och installation av ramen vid skanningen. Under skanningsprocessen bör de delar där räkningen plötsligt ökar fläckkontrolleras och läckfenomenet hittas, dvs. läckage bör lappas med silikongummi eller högeffektivitetsfiltret bör bytas ut.
