Tình trạng kiểm tra phòng sạch có thể được chia thành ba loại
1, các cơ sở nhà nước trống của phòng sạch tất cả các đường ống được kết nối và chạy nhưng không có thiết bị sản xuất, vật liệu và nhân viên sản xuất.
2, Static đã được xây dựng trong tất cả các cơ sở của phòng sạch được lắp đặt trong các thiết bị sản xuất và nhà cung cấp được chủ sở hữu của The Way để thử nghiệm xa, nhưng không có nhân viên sản xuất nào trong lĩnh vực này.
3, các cơ sở động theo các quy định của cách điều hành nhà nước và các quy định của nhân viên có mặt theo cách thức công việc quy định.
Quá trình kiểm tra phòng sạch
Trong đó việc xác định tất cả các dụng cụ và thiết bị được sử dụng phải được xác định, hiệu chuẩn hoặc hiệu chỉnh theo quy định. Trước khi đo lường, hệ thống, phòng sạch, phòng máy, v.v ... phải là việc làm sạch toàn diện, làm sạch và điều chỉnh hệ thống phải được chạy liên tục trong một khoảng thời gian, sau đó phát hiện rò rỉ và các vật dụng đo khác. Thủ tục đo phòng sạch như sau.
Không khí thổi không → Làm sạch trong nhà → Điều chỉnh thể tích không khí → Lắp đặt các bộ lọc trung gian → Lắp đặt bộ lọc hiệu quả cao → Hoạt động của hệ thống → Phát hiện rò rỉ của bộ lọc hiệu quả cao → Điều chỉnh khối lượng không khí. → Xác định trong nhà của vi khuẩn sinh vật phù du vi khuẩn và vi khuẩn lắng → Thiết bị sản xuất liên quan đến công việc và điều chỉnh.
Cơ sở thử nghiệm
Bao gồm thông số kỹ thuật, bản vẽ, tài liệu thiết kế và dữ liệu kỹ thuật của thiết bị. Chia thành hai loại sau:
1, Tài liệu thiết kế thiết kế, thay đổi thiết kế trong các tài liệu hỗ trợ và các thỏa thuận liên quan, bản vẽ được xây dựng;
2, Thông tin kỹ thuật của thiết bị.
Phương pháp kiểm tra và xác định kết quả
1 、 Thể tích không khí hoặc kiểm tra tốc độ gió
(1) Các dụng cụ đo lường và đo lường môi trường
Máy đo tốc độ cánh quạt, máy đo tốc độ bóng nóng, bitou, máy đo áp suất vi mô, mui xe thể tích không khí. Nhiệt độ môi trường ở nhiệt độ phòng hoặc nhiệt độ thiết kế.
(2) Lấy mẫu các khu vực có yêu cầu thiết kế để thử nghiệm.
.
(1) Hệ thống phòng sạch dòng chảy hỗn loạn có giá trị thể tích không khí đo được lớn hơn giá trị thể tích không khí thiết kế tương ứng, nhưng không được vượt quá 20%. Đo lường thể tích không khí mới và thiết kế sự khác biệt giữa thể tích không khí mới không được vượt quá thiết kế của thể tích không khí mới là ± 10%. Khối lượng không khí trong nhà của mỗi ổ cắm không khí và chênh lệch thể tích không khí thiết kế tương ứng của chúng không được vượt quá ± 15% thể tích không khí thiết kế.
(2) Phòng sạch của tầng đơn một chiều Đo vận tốc không khí trong nhà trung bình phải lớn hơn vận tốc không khí thiết kế, nhưng không được vượt quá 20%. Tổng thể tích không khí trong lành đo và thiết kế chênh lệch thể tích không khí mới không được vượt quá thiết kế của thể tích không khí mới là ± 10%.
2, Kiểm tra chênh lệch áp suất tĩnh trong nhà
(1) Dụng cụ và thiết bị và dụng cụ đo lường môi trường nghiêng máy đo microman, máy đo vi mô kỹ thuật số, v.v. .. Nhiệt độ môi trường ở nhiệt độ phòng hoặc nhiệt độ thiết kế.
(2) Lấy mẫu các khu vực liền kề khác nhau với các yêu cầu thiết kế để thực hiện thử nghiệm.
(3) Yêu cầu kỹ thuật Kết quả kiểm tra chênh lệch áp suất tĩnh phải phù hợp với các điều khoản sau đây
(1) Giữa các phòng sạch lân cận ở các cấp độ khác nhau và phòng sạch sẽ và phòng không sạch giữa chênh lệch áp suất tĩnh không được nhỏ hơn 5Pa.
2) Phòng sạch và chênh lệch áp suất tĩnh ngoài trời phải lớn hơn 10Pa.
.
3 rò rỉ bộ lọc không khí
(1) Dụng cụ và dụng cụ đo lường môi trường Bộ đếm hạt bụi, máy tạo aerosol. Nhiệt độ môi trường ở nhiệt độ phòng hoặc nhiệt độ thiết kế.
. Các bộ lọc không khí hiệu quả cao được lắp đặt trong phòng sạch dòng chảy đơn hướng nên được kiểm tra từng rò rỉ từng cái một.
(3) Quá trình hoạt động và xác định rò rỉ bộ lọc là việc cài đặt thử nghiệm rò rỉ bộ lọc không khí hoàn thành áp dụng cho trạng thái trống hoặc phòng sạch tĩnh. Để cài đặt các bộ lọc hiệu quả cao được cài đặt trong đầu cung cấp và khí thải của ứng dụng phương pháp quét để lọc, việc cài đặt đường viền và phương pháp quét rò rỉ mặt cắt hoàn toàn của phương pháp phát hiện rò rỉ và thể tích lấy mẫu tối thiểu 1L/phút của phương pháp bộ đếm hạt. Ở đây phương pháp bộ đếm hạt được sử dụng để phát hiện rò rỉ.
(1) Bộ lọc được kiểm tra phải đo thể tích không khí trong tốc độ không khí thiết kế trong khoảng 80% ~ 120% hoạt động.
(2) Bộ đếm hạt được sử dụng để kiểm tra rò rỉ các bộ lọc hiệu quả cao.
Mặt ngược của nó nên được đưa vào một nồng độ đồng đều của bụi khí quyển hoặc không khí bụi aerosol khác. Nồng độ của các hạt bụi lớn hơn hoặc bằng 0,5μm phải lớn hơn hoặc bằng 3,5 × 105pc/m3; hoặc nồng độ của các hạt bụi lớn hơn hoặc bằng 0,1μM phải lớn hơn hoặc bằng 3,5 × 107pc/m3 nếu phát hiện các bộ lọc hiệu quả cao lớp D lớn hơn hoặc bằng nồng độ hạt bụi 0,1μM phải lớn hơn hoặc bằng 3,5 × 109pc/m3.
. Trong quá trình quét, các phần mà số lượng đột nhiên tăng nên được kiểm tra tại chỗ và hiện tượng rò rỉ được tìm thấy, tức là rò rỉ phải được vá bằng cao su silicon hoặc bộ lọc hiệu quả cao.
