שיטות ותהליכי בדיקת חדר נקייה

ניתן לחלק את מצב בדיקת החדר הנקי לשלוש קטגוריות

1, מתקני מדינה ריקים של החדר הנקי כל הצינורות המחוברים ופועלים אך ללא ציוד ייצור, חומרים ואנשי ייצור.

2, Static נבנה בכל מתקני החדר הנקי המותקן בציוד הייצור והספקים שהוסכם על ידי הבעלים של הדרך לבדיקת סיבוב רחוק, אך אין אנשי ייצור בשדה.

3, מתקנים דינאמיים בהתאם להוראות הדרך לניהול המדינה ואת הוראות אנשי הצוות שנמצאים בצורה שנקבעה.

תהליך בדיקת חדר נקי

כאשר יש לזהות, לכייל או לכייל את קביעת כל המכשירים והציוד המשמשים, לכייל או לכייל. לפני המדידה, המערכת, החדר הנקי, חדר המכונה וכו 'חייבים להיות ניקוי מקיף, ניקוי והתאמת מערכת חייבים להיות מופעלים ברציפות למשך זמן מה, ואז לגילוי דליפות ופריטי מדידה אחרים. הנוהל למדידת החדר הנקי הוא כדלקמן.

נשיחת אוויר מפוח → ניקוי מקורה → התאמת נפח האוויר → התקנת מסנני ביניים → התקנת מסננים יעילות גבוהה → פעולת מערכת → איתור דליפה של מסננים יעילות גבוהה → התאמה של נפח אוויר → התאמת הפרש לחץ סטטי מקורה → התאמת טמפרטורה והומיות → זרימת המהירות של החדר הנקי, מהירותו של החדר הנקי, מהירות, מהירות, מהירות, מהירות, מהירות, מהירות, ניקיון → קביעה מקורה של חיידקים פלנקטוניים חיידקים וחיידקים מיושבים → ציוד ייצור הקשור לעבודה ולהתאמות.

בסיס בדיקה

    כולל מפרטים, רישומים, מסמכי תכנון ונתונים טכניים של ציוד. מחולק לשתי הקטגוריות הבאות:

    1, תכנון מסמכי תכנון תכנון, תכנון שינויים במסמכים התומכים וההסכמים הרלוונטיים, רישומים בנויים;

    2, המידע הטכני של הציוד.

שיטות בדיקה וקביעת תוצאות

    1 、 מבחן נפח אוויר או מהירות רוח

    (1) מכשירי מדידה ומדידה סביבתית

אנמומטר אימפלר, אנמומטר כדור חם, ביטו, מד לחץ מיקרו, מכסה המנוע של עוצמת האוויר. טמפרטורת הסביבה בטמפרטורת החדר או בטמפרטורת העיצוב.

    (2) דגימת אזורים עם דרישות תכנון לבדיקה.

    (3) תחילה יש לטהור את נפח האוויר וגילוי מהירות הרוח לטיהור, ההשפעות השונות חייבות להיות בעיצוב נפח האוויר ותנאי מהירות הרוח המתקבלים.

    (1) מערכת חדר נקי זרימה סוערת של ערך נפח אוויר מדוד צריכה להיות גדולה יותר מערך נפח האוויר העיצובי בהתאמה, אך לא אמורה לעלות על 20%. מדד נפח אוויר חדש ועיצוב ההבדל בין נפח האוויר החדש לא אמור לחרוג מתכנון נפח האוויר החדש של ± 10%. נפח אוויר מקורה של כל שקע אוויר והבדל נפח האוויר העיצובי שלהם לא אמור לעלות על ± 15% מנפח האוויר העיצובי.

    (2) חדר נקי זרימה למינרית חד כיוונית נמדד מהירות אוויר מקורה ממוצעת צריכה להיות גדולה יותר ממהירות האוויר העיצובית, אך לא צריכה לעלות על 20%. סך נפח האוויר הצח שנמדד ועיצוב הפרש נפח האוויר החדש לא אמורים לחרוג מתכנון נפח האוויר החדש של ± 10%.

    2, מבחן הפרש לחץ סטטי מקורה

    (1) מכשירים וציוד ומכשירי מדידה סביבתיים נוטים מיקרומומטר, מיקרומומטר דיגיטלי וכו '. טמפרטורת הסביבה בטמפרטורת החדר או בטמפרטורת העיצוב.

    (2) דגימה של אזורים סמוכים שונים עם דרישות תכנון ליישום הבדיקה.

    (3) דרישות טכני

    (1) בין חדרים נקיים שכנים ברמות שונות וחדרים נקיים וחדרים שאינם נקיים בין הפרש הלחץ הסטטי לא צריכים להיות פחות מ- 5PA.

    2) חדר נקי והבדל לחץ סטטי חיצוני צריך להיות גדול מ- 10PA.

    (3) אין למדוד ניקיון גבוה מ- 100 רמות של זרימה חד -כיוונית למינרית זרימה חדר נקי במצב הדלת הפתוחה בכניסה ויציאה של הצד המקורה של 0.6 מ 'יותר מהגבול העליון של ריכוז הרמה המקורה.

    3 、 דליפת מסנן אוויר

    (1) מכשירים ומכשירי מדידה סביבתיים מונה חלקיקי אבק, מחולל אירוסול. טמפרטורת הסביבה בטמפרטורת החדר או בטמפרטורת העיצוב.

    (2) דגימה של גוף פילטר יעיל גבוה לפני הכניסה ליצרן האתר צריכה להידרש לביצוע בדיקות ביצועים ולספק תעודות תאימות. יש לבדוק את מסנני האוויר היעילים הגבוהים המותקנים בחדר נקי הזרימה החד-כיוונית לדליפה בזה אחר זה.

    (3) תהליך הפעולה וקבע את דליפת המסנן הוא התקנת מבחן הדליפה של מסנן האוויר שהושלם חל על המצב הריק או החדר הנקי הסטטי. להתקנת מסננים בעלי יעילות גבוהה המותקנים בקצה אוויר האספקה ​​והפליטה של ​​יישום שיטת הסריקה לסינון, התקנת הגבול ושיטת סריקת הדליפה של חתך המלא של שיטת גלאי הדליפה ונפח הדגימה של מינימום של 1L/min של שיטת הדלפק החלקיק השנייה. כאן משתמשים בשיטת מונה החלקיקים לגילוי דליפות.

    (1) המסנן שנבדק בטח מדד את נפח האוויר במהירות האוויר העיצובית בין 80% ~ 120% מהפעולה.

    (2) דלפק החלקיקים משמש לבדיקת דליפת המסננים היעילים הגבוהים.

    יש להציג את הצד הרוח שלו לריכוז אחיד של אבק אטמוספרי או אוויר אבק אירוסול אחר. ריכוז חלקיקי האבק הגדולים או שווה ל 0.5 מיקרומטר צריך להיות גדול או שווה ל -3.5 × 105pc/m3; או ריכוז חלקיקי האבק הגדולים או שווה ל 0.1 מיקרומטר צריך להיות גדול או שווה ל -3.5 × 107pc/m3 אם הגילוי של מסנני יעילות גבוהה של Class D גדול או שווה לריכוז חלקיקי האבק 0.1 מיקרומטר צריך להיות גדול או שווה ל -3.5 × 109pc/m3.

    (3) איתור דליפות יונח ביציאת הדגימה במרחק של 2 ~ 3 ס'מ משטח המסנן שנבדק במהירות של 5 ~ 20 מ'מ/שניות כדי להזיז את כל החלק של המסנן שנבדק, דבק כותרת ומסגרת עובש התקנה והתקנת המסגרת בסריקה. במהלך תהליך הסריקה, יש לבדוק את החלקים שבהם הספירה גדלים פתאום ולמצוא את תופעת הדליפה, כלומר, יש להחליף את הדליפה עם גומי סיליקון או לסנן יעילות גבוהה.