Starea de testare a camerei curate poate fi împărțită în trei categorii
1, instalații de stat goale ale camerei curate Toate conductele conectate și care funcționează, dar fără echipamente de producție, materiale și personal de producție.
2, Static a fost construit în toate facilitățile camerei curate instalate în echipamentele de producție, iar furnizorii au fost conveniți de proprietarul modului de a testa o întoarcere, dar niciun personal de producție în domeniu.
3, Facilități dinamice în conformitate cu prevederile modului de a rula statul și a prevederilor personalului prezent în modul prescris de muncă.
Proces de testare a camerei curate
În cazul în care determinarea tuturor instrumentelor și echipamentelor utilizate trebuie identificată, calibrată sau calibrată conform reglementărilor. Înainte de măsurare, sistemul, camera curată, camera de mașini etc. trebuie să fie o curățare cuprinzătoare, curățare și reglare a sistemului trebuie să fie rulate continuu pentru o perioadă de timp, apoi detectarea scurgerilor și alte elemente de măsurare. Procedura pentru măsurarea camerei curate este următoarea.
Blower air blowing → indoor cleaning → adjustment of air volume → installation of intermediate filters → installation of high-efficiency filters → system operation → leakage detection of high-efficiency filters → adjustment of air volume → adjustment of indoor static pressure difference → adjustment of temperature and humidity → single-phase flow of the clean room cross-section of the average speed, the speed of the uneven determination of Curățarea interioară → Determinarea interioară a bacteriilor planctonice bacteriene și a bacteriilor așezate → Echipamente de producție legate de lucrări și ajustări.
Baza de testare
Inclusiv specificații, desene, documente de proiectare și date tehnice ale echipamentelor. Împărțit în următoarele două categorii:
1, Documente de proiectare a clasei de proiectare, modificări de proiectare în documentele de susținere și acorduri relevante, desene construite;
2, informațiile tehnice ale echipamentului.
Metode de testare și determinare a rezultatelor
1 、 test de volum de aer sau viteză de vânt
(1) Instrumente de instrumentare și de măsurare a mediului
Anemometru cu rotor, anemometru cu bilă fierbinte, Bitou, contor de micro-presiune, capotă de volum de aer. Temperatura ambiantă la temperatura camerei sau la temperatura de proiectare.
(2) Eșantionarea zonelor cu cerințe de proiectare pentru testare.
(3) Volumul aerului și detectarea vitezei vântului trebuie să fie mai întâi purificate aer condiționat, diferitele efecte trebuie să fie în proiectarea condițiilor de volum de aer și a vitezei vântului obținute.
(1) Sistemul de cameră curat de flux turbulent al valorii volumului aerului măsurat ar trebui să fie mai mare decât valoarea de volum de aer de proiectare respectivă, dar nu ar trebui să depășească 20%. Volumul de aer nou măsurat și proiectarea diferenței dintre noul volum de aer nu ar trebui să depășească proiectarea noului volum de aer de ± 10%. Volumul de aer interior al fiecărei ieșiri de aer și diferența lor de volum de aer de proiectare nu trebuie să depășească ± 15% din volumul de aer de proiectare.
(2) Camera curată a fluxului laminar unidirecțional, măsurată, viteza medie a aerului interior ar trebui să fie mai mare decât viteza aerului de proiectare, dar nu ar trebui să depășească 20%. Volumul total de aer curat măsurat și proiectarea noii diferențe de volum de aer nu ar trebui să depășească proiectarea noului volum de aer de ± 10%.
2, Testul diferenței de presiune statică interioară
(1) Instrumente și echipamente și instrumente de măsurare a mediului Micromanometru înclinat, micromanometru digital, etc. Temperatura ambiantă la temperatura camerei sau la temperatura de proiectare.
(2) Eșantionarea diferitelor zone adiacente cu cerințe de proiectare pentru implementarea testului.
(3) Cerințe tehnice Rezultatele testelor de presiune statică ar trebui să fie în concordanță cu următoarele dispoziții
(1) Între camerele curate vecine de diferite niveluri și camere curate și camere non-curățate între diferența de presiune statică nu trebuie să fie mai mică de 5pa.
2) CAMERA CURĂTĂȚII ȘI DIFERENȚA STATICĂ DE PRESIUNE STATICĂ TREBUIE să fie mai mare de 10pa.
(3) Curățenia mai mare de 100 de niveluri de curgere a fluxului unidirecțional Cameră curată cu flux laminar în starea ușii deschise la intrarea și ieșirea din partea interioară a 0,6 m nu trebuie măsurată mai mult decât limita superioară a concentrației de nivel interior.
3 、 Scurgerea filtrului de aer
(1) Instrumente și instrumente de măsurare a mediului contor de particule de praf, generator de aerosoli. Temperatura ambiantă la temperatura camerei sau la temperatura de proiectare.
(2) Eșantionarea corpului de filtru de înaltă eficiență înainte de a intra în producătorul de șantier ar trebui să fie obligat să efectueze teste de performanță și să ofere certificate de conformitate. Filtrele de aer de înaltă eficiență instalate în camera de curățare a fluxului unidirecțional trebuie testate pentru scurgeri una câte una.
(3) Procesul de funcționare și determinarea scurgerii filtrului este instalarea testului de scurgere a filtrului de aer finalizat se aplică stării goale sau camerei curate statice. Pentru instalarea filtrelor de înaltă eficiență instalate în capătul aerului de alimentare și evacuare a aplicării metodei de scanare pentru filtrare, instalarea frontierei și metoda completă de scanare a scurgerii în secțiune completă a metodei detectorului de scurgere și a volumului de eșantionare a unui minim de 1L/min din metoda contorului de particule două. Aici metoda contorului de particule este utilizată pentru detectarea scurgerilor.
(1) Filtrul inspectat trebuie să fi măsurat volumul de aer în viteza aerului de proiectare între 80% ~ 120% din operație.
(2) Contorul de particule este utilizat pentru a verifica scurgerea filtrelor de înaltă eficiență.
Partea sa în sus ar trebui să fie introdusă într -o concentrație uniformă de praf atmosferic sau alt aer de praf de aerosol. Concentrația particulelor de praf mai mari sau egale cu 0,5 μM ar trebui să fie mai mare sau egală cu 3,5 × 105pc/m3; sau concentrația de particule de praf mai mari sau egale cu 0,1μM ar trebui să fie mai mare sau egală cu 3,5 × 107pc/m3 dacă detectarea filtrelor de înaltă eficiență de clasă D mai mare sau egală cu 0,1 μm concentrația de particule de praf trebuie să fie mai mare sau egală cu 3,5 × 109pc/m3.
(3) Detectarea scurgerilor va fi plasată în portul de eșantionare la o distanță de 2 ~ 3cm de suprafața filtrului inspectat cu o viteză de 5 ~ 20mm/s pentru a muta întreaga secțiune a filtrului inspectat, lipiciul cu antetul și cadrul matriței de instalare și instalarea cadrului la scanare. În timpul procesului de scanare, părțile în care creșterea numărului crește brusc ar trebui să fie verificate la fața locului și se găsește fenomenul de scurgere, adică scurgerea ar trebui să fie plasată cu cauciuc siliconic sau filtrul de înaltă eficiență trebuie înlocuit.
