Status pengujian kamar bersih dapat dibagi menjadi tiga kategori
1, fasilitas negara kosong dari ruang bersih semua pipa yang terhubung dan berjalan tetapi tidak ada peralatan produksi, bahan dan personel produksi.
2, Static telah dibangun di semua fasilitas ruang bersih yang dipasang di peralatan produksi dan pemasok yang disepakati oleh pemilik cara untuk menguji pergantian jauh, tetapi tidak ada personel produksi di lapangan.
3, fasilitas dinamis sesuai dengan ketentuan cara untuk menjalankan negara dan ketentuan personel yang hadir dalam cara kerja yang ditentukan.
Proses Pengujian Cleanroom
Jika penentuan semua instrumen dan peralatan yang digunakan harus diidentifikasi, dikalibrasi atau dikalibrasi sesuai dengan peraturan. Sebelum pengukuran, sistem, ruang bersih, ruang mesin, dll. Harus menjadi pembersihan, pembersihan, dan penyesuaian sistem yang komprehensif harus dijalankan secara terus menerus untuk jangka waktu tertentu, dan kemudian deteksi bocor dan item pengukuran lainnya. Prosedur untuk mengukur ruang bersih adalah sebagai berikut.
Blower Air Blowing → Pembersihan Dalam Ruangan → Penyesuaian Volume Udara → Pemasangan Filter Menengah → Pemasangan Filter Efisiensi Tinggi → Operasi Sistem → Deteksi Kebocoran Lipatan Efisiensi Tinggi → Penyesuaian Volume Udara → Penyesuaian Penyesuaian Rata-Rata-Rata-Rata-Rata-Rata-Rata-Rata-Rata-Rata-Rata-Rata-Rata-Rata-Rata-Rata-Rata-Rata-Rata-Rata-Rata-Rata-Rata-Rata-Ruang Cross. Kebersihan → Penentuan dalam ruangan bakteri planktonik bakteri dan bakteri yang menetap → peralatan produksi yang terkait dengan pekerjaan dan penyesuaian.
Dasar pengujian
Termasuk spesifikasi, gambar, dokumen desain, dan data teknis peralatan. Dibagi menjadi dua kategori berikut:
1, dokumen desain kelas desain, perubahan desain dalam dokumen pendukung dan perjanjian yang relevan, gambar yang dibangun;
2, informasi teknis peralatan.
Metode pengujian dan penentuan hasil
1 、 Volume Udara atau Uji Kecepatan Angin
(1) Instrumentasi dan instrumen pengukuran lingkungan
Anemometer impeller, anemometer bola panas, bitou, meter tekanan mikro, kap volume udara. Suhu sekitar pada suhu kamar atau suhu desain.
(2) Pengambilan sampel area dengan persyaratan desain untuk pengujian.
(3) Volume udara dan deteksi kecepatan angin harus terlebih dahulu adalah AC dimurnikan, berbagai efek harus dalam desain volume udara dan kondisi kecepatan angin yang diperoleh.
(1) Turbulen Aliran Sistem Kamar Bersih dari Nilai Volume Udara Terukur harus lebih besar dari nilai volume udara desain masing -masing, tetapi tidak boleh melebihi 20%. Volume udara baru yang diukur dan desain perbedaan antara volume udara baru tidak boleh melebihi desain volume udara baru ± 10%. Volume udara dalam ruangan dari setiap outlet udara dan perbedaan volume udara desain masing -masing tidak boleh melebihi ± 15% dari volume udara desain.
(2) Aliran laminar laminar searah mengukur kecepatan udara dalam ruangan rata -rata harus lebih besar dari kecepatan udara desain, tetapi tidak boleh melebihi 20%. Total volume udara segar yang diukur dan desain perbedaan volume udara baru tidak boleh melebihi desain volume udara baru ± 10%.
2, tes perbedaan tekanan statis dalam ruangan
(1) Instrumen dan peralatan dan instrumen pengukuran lingkungan cenderung mikromanometer, mikromanometer digital, dll. Suhu sekitar pada suhu kamar atau suhu desain.
(2) Pengambilan sampel berbagai area yang berdekatan dengan persyaratan desain untuk mengimplementasikan tes.
(3) Persyaratan Teknis Perbedaan tekanan statis hasil uji harus konsisten dengan ketentuan berikut
(1) Antara kamar bersih tetangga dari berbagai level dan kamar bersih dan kamar yang tidak bersih antara perbedaan tekanan statis tidak boleh kurang dari 5PA.
2) Kamar bersih dan perbedaan tekanan statis luar ruangan harus lebih besar dari 10PA.
(3) Kebersihan lebih tinggi dari 100 tingkat aliran laminar aliran laminar searah di keadaan pintu terbuka di pintu masuk dan keluar dari sisi dalam ruangan 0,6m tidak boleh diukur lebih dari batas atas konsentrasi tingkat dalam ruangan.
3 、 Kebocoran Filter Udara
(1) Instrumen dan Instrumen Pengukuran Lingkungan Penghitung partikel debu, generator aerosol. Suhu sekitar pada suhu kamar atau suhu desain.
(2) Pengambilan sampel badan filter efisiensi tinggi sebelum memasuki produsen situs harus diminta untuk melakukan tes kinerja dan memberikan sertifikat kepatuhan. Filter udara efisiensi tinggi yang dipasang di ruang bersih aliran searah harus diuji untuk kebocoran satu per satu.
(3) Proses pengoperasian dan menentukan kebocoran filter adalah pemasangan uji kebocoran filter udara yang sudah selesai berlaku untuk keadaan kosong atau ruang bersih statis. Untuk pemasangan filter efisiensi tinggi yang dipasang di ujung pasokan dan udara buang dari penerapan metode pemindaian untuk filtrasi, pemasangan perbatasan dan metode pemindaian bocor penampang penuh dari metode detektor bocor dan volume pengambilan sampel minimum 1L/menit dari metode penghitung partikel dua. Di sini metode penghitung partikel digunakan untuk deteksi kebocoran.
(1) Filter yang diinspeksi harus mengukur volume udara dalam kecepatan udara desain antara 80% ~ 120% dari operasi.
(2) Penghitung partikel digunakan untuk memeriksa kebocoran filter efisiensi tinggi.
Sisi melawan angin harus diperkenalkan dengan konsentrasi debu atmosfer yang seragam atau udara debu aerosol lainnya. Konsentrasi partikel debu lebih besar dari atau sama dengan 0,5μM harus lebih besar dari atau sama dengan 3,5 × 105pc/m3; atau konsentrasi partikel debu lebih besar dari atau sama dengan 0,1μm harus lebih besar dari atau sama dengan 3,5 × 107pc/m3 jika deteksi filter efisiensi tinggi kelas D lebih besar dari atau sama dengan konsentrasi partikel debu 0,1μm harus lebih besar dari atau sama dengan 3,5 × 109pc/m3.
(3) Deteksi kebocoran akan ditempatkan di port pengambilan sampel pada jarak 2 ~ 3cm dari permukaan filter yang diperiksa pada kecepatan 5 ~ 20mm/s untuk memindahkan seluruh bagian filter yang sedang diperiksa, lem header dan bingkai cetakan instalasi dan pemasangan bingkai pada pemindaian. Selama proses pemindaian, bagian-bagian di mana jumlah yang tiba-tiba meningkat harus diperiksa spot dan fenomena kebocoran ditemukan, yaitu, kebocoran harus ditambal dengan karet silikon atau filter efisiensi tinggi harus diganti.
